套刻精度Overlay分析器
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[工具简介]
模拟晶圆全图套刻测量(平移+旋转+放大残差+噪声), 计算X/Y方向mean、3sigma与|mean|+3sigma并与规格比较判稳, 绘制晶圆矢量图、dX-dY散点、直方图, 支持CSV导出。

[适用人群]
半导体FAB工艺工程师/整合工程师/良率工程师, 以及正在学习半导体制造工艺的学生。

[运行环境]
- Python 3.8 及以上
- 依赖库: numpy, matplotlib (见 requirements.txt)
- 操作系统: Windows / Linux / macOS (需支持Tkinter图形界面)

[使用方法]
1. 安装依赖: pip install numpy matplotlib
2. 运行: python 套刻精度Overlay分析器.py
3. 可调测量点数/规格/平移偏差/噪声, 点击[生成晶圆测量样例数据]
4. 点击[执行Overlay统计分析]查看PASS/FAIL判定与补偿建议

[功能说明]
- 内置真实感FAB样例数据(numpy随机模型生成), 双击即可运行, 无需外部数据文件
- 所有统计与工程计算均为真实实现, 图表由matplotlib实时绘制
- 深色工程师主题界面, 关键参数可自由调整
- 完整异常处理, 输入非法时弹窗提示

[免责声明]
内置数据为模拟样例, 用于演示分析方法; 实际产线应用请接入真实量测数据并结合SPC规范判定。
