扩散退火工艺模拟器
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[工具简介]
基于阿伦尼乌斯公式D=D0*exp(-Ea/kT)计算硼/磷/砷/锑在硅中的扩散系数, 计算扩散长度2*sqrt(Dt)与erfc恒定表面浓度模型结深, 绘制D-T曲线、结深曲线与杂质浓度分布, 支持四种掺杂剂对比。

[适用人群]
半导体FAB工艺工程师/整合工程师/良率工程师, 以及正在学习半导体制造工艺的学生。

[运行环境]
- Python 3.8 及以上
- 依赖库: numpy, matplotlib (见 requirements.txt)
- 操作系统: Windows / Linux / macOS (需支持Tkinter图形界面)

[使用方法]
1. 安装依赖: pip install numpy matplotlib
2. 运行: python 扩散退火工艺模拟器.py
3. 选择掺杂剂, 输入退火温度/时间/表面与衬底浓度, 点击[运行扩散模拟]
4. 点击[对比四种掺杂剂]查看不同杂质扩散长度随温度的差异

[功能说明]
- 内置真实感FAB样例数据(numpy随机模型生成), 双击即可运行, 无需外部数据文件
- 所有统计与工程计算均为真实实现, 图表由matplotlib实时绘制
- 深色工程师主题界面, 关键参数可自由调整
- 完整异常处理, 输入非法时弹窗提示

[免责声明]
内置数据为模拟样例, 用于演示分析方法; 实际产线应用请接入真实量测数据并结合SPC规范判定。
