数据质量治理检查器 v1.0
==========================

【工具简介】
半导体FAB WAT(晶圆接受测试)数据质量自动化检查工具。
内置50行含脏数据的FAB工艺参数表，自动检测缺失值、范围越界、
格式错误、重复行等质量问题，在表格中以红色单元格高亮标记，
并输出逐条清洗建议。支持导出检测报告和清洗后CSV文件。

【功能特性】
1. 数据表预览：表格形式展示所有字段，红色高亮问题单元格
2. 四类问题检测：
   - CRITICAL: lot_id/lot_name缺失、晶圆号越界等严重问题
   - ERROR: 膜厚/温度/剂量等工艺参数越界
   - WARNING: 重复行、缺陷数轻微越界
3. 质量评分：综合加权评分(0-100分)
4. 逐条清洗建议：每条问题附带具体修复方法
5. 导出检测报告：.txt格式完整问题清单
6. 导出清洗后数据：.csv格式，标记问题值为空

【内置数据规模】
- 50行 x 13列 FAB WAT实测参数表
- 约40%行含脏数据，含真实脏数据类型
- 字段：lot_id, wafer_no, thickness_A/B, temperature_C, dose_1,
  resistivity, vth, defect_count, yield_pct, equipment, operator, process_date

【内置检测规则】
- lot_id: 格式 r"^[A-Z]{2}\d{4}\.\d{2}$"
- wafer_no: 范围 1-25
- thickness_A: 范围 800-1200 Angstrom
- thickness_B: 范围 2500-3500 Angstrom
- temperature_C: 范围 900-1150 摄氏度
- dose_1: 范围 1E14-1E17 atoms/cm2
- resistivity: 范围 1-500 ohm/sq
- vth: 范围 0.3-1.5V
- defect_count: 范围 0-50
- yield_pct: 范围 80-100%

【运行方式】
双击运行 数据质量检查器.py

【适用场景】
- 新批次WAT数据入库前质量审核
- 历史数据清洗准备
- MES数据上传前验证
- 工程师数据质量培训演示
