清洗颗粒度检测分析器
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[工具简介]
模拟SC1/SC2清洗前后KLA颗粒计数(按5个粒径分档, 含异常晶圆), 计算逐片与平均颗粒去除率PRE, 绘制清洗前后对比柱状图、去除率趋势、粒径分布与直方图, 输出PASS/FAIL判定与排查建议。

[适用人群]
半导体FAB工艺工程师/整合工程师/良率工程师, 以及正在学习半导体制造工艺的学生。

[运行环境]
- Python 3.8 及以上
- 依赖库: numpy, matplotlib (见 requirements.txt)
- 操作系统: Windows / Linux / macOS (需支持Tkinter图形界面)

[使用方法]
1. 安装依赖: pip install numpy matplotlib
2. 运行: python 清洗颗粒度检测分析器.py
3. 设置晶圆片数/目标去除率/清洗后规格, 点击[生成清洗批次样例数据]
4. 点击[分析去除率并绘图]查看逐片PRE与分档去除率报告

[功能说明]
- 内置真实感FAB样例数据(numpy随机模型生成), 双击即可运行, 无需外部数据文件
- 所有统计与工程计算均为真实实现, 图表由matplotlib实时绘制
- 深色工程师主题界面, 关键参数可自由调整
- 完整异常处理, 输入非法时弹窗提示

[免责声明]
内置数据为模拟样例, 用于演示分析方法; 实际产线应用请接入真实量测数据并结合SPC规范判定。
