# 薄膜厚度分析工具 v1.0
## Thin Film Thickness Analysis Tool

### 功能特性

✅ **膜厚测量数据管理** - 10点测量数据管理，支持添加/删除/筛选  
✅ **PVD/CVD/ALD工艺分类** - 按工艺类型分组统计和分析  
✅ **膜厚均匀性分析** - 标准差/σ% + 9点热图可视化  
✅ **批次间对比图** - 多批次膜厚和均匀性对比分析  
✅ **膜厚趋势控制图 (X̄ Chart)** - 实时监控UCL/LCL规格线  
✅ **QCM传感器数据** - 石英晶体微天平质量沉积计算（Sauerbrey方程）  
✅ **导出Excel** - 完整10点测量数据导出  
✅ **内置30条膜厚数据** - 覆盖Ti/Cu/Al/SiO2/SiN/Al2O3/TiN/W/TiW/HfO2  

### 界面功能

- **📋 膜厚数据** - 表格管理 + 筛选 + 双击查看9点测量详情
- **⚖️ QCM传感器** - 实时QCM频率变化和质量沉积估算
- **📦 批次对比** - 批次间均匀性(σ%)对比
- **💾 导出报告** - CSV/TXT/Excel格式导出

### 安装依赖

```
pip install numpy matplotlib pandas openpyxl
```

Python 3.8+ | tkinter (内置)

### 使用方法

```bash
python thinfilm_tool.py
```

### 数据格式

| 字段 | 说明 |
|------|------|
| wafer_id | Wafer编号 |
| process | 工艺 (PVD/CVD/ALD) |
| material | 薄膜材料 |
| target_thickness | 目标膜厚 (Å) |
| measured | 10点测量值列表 (Å) |
| temp | 温度 (°C) |
| pressure | 压力 (Torr) |
| power | 功率 (kW) |
| batch | 批次号 |

### 内置数据覆盖

- 工艺: PVD, CVD, ALD (共3种)
- 材料: Ti, Cu, Al, SiO2, SiN, Al2O3, TiN, W, TiW, HfO2 (共10种)
- 批次: B001 ~ B010 (共10个批次)
- 总计: 30条膜厚数据，每条包含10点测量

### 版本信息

- 版本: v1.0
- 更新: 2026-07-12
- 作者: Fab Engineering Team
