配方偏离Recipe检测器 v1.0
=========================
半导体FAB工程师 配方监控工具

功能说明：
  15个标准配方参数（氧化物刻蚀工艺），50批次实测数据。
  对照标准值与公差，计算每批次各参数的偏差百分比，
  超阈自动报警，绘制偏差条形图和关键参数趋势图。

内置配方参数：
  - Chamber Pressure, RF Source/Bias Power
  - Gas(Cl2/Ar/O2/CF4) Flow, ESC Temp
  - He Backside Pressure, Process Time
  - DC Bias, Etch Rate, Uniformity, Endpoint Time, Step Pressure

使用方法：
  python main.py

操作说明：
  - 启动自动加载最近批次的偏差分析
  - 下拉选择"批次"查看不同批次的偏差
  - 阈值滑块调节报警灵敏度（1%~20%）
  - 左侧图：偏差条形图（红色=超阈报警）
  - 右侧图：关键参数随时间变化趋势（虚线=报警边界）
  - 右侧报告滚动查看详细分析

依赖：
  - Python 3.8+
  - numpy
  - matplotlib

作者：半导体FAB工具集
日期：2026-07-25
