CMP 研磨速率计算器 (CMP Removal Rate Analyzer)
================================================

【功能】
1. 内置一片晶圆 5x5=25 点研磨前/后厚度、研磨时间、下压力、相对速度
2. 计算各点去除量、去除速率 RR(nm/min)、片内非均匀性 NU%
3. 计算简化 Preston 系数 Kp = RR/(P*V)
4. 伪彩去除速率分布图(纯numpy网格) + 各点柱状图 + 统计面板

【核心公式】
  去除量  = 研磨前厚度 - 研磨后厚度
  RR      = 去除量 / 研磨时间            (nm/min)
  NU(std) = std(RR)/mean(RR) * 100%
  NU(rng) = (max-min)/(2*mean) * 100%
  Preston : RR = Kp * P * V  =>  Kp = RR/(P*V)

【判定】 NU<=3% 优良, <=5% 合格, 否则需改善

【使用】
  python CMP研磨速率计算器.py
  修改工艺参数后点“重新计算”; 点“生成新样本”换一片数据。

【依赖】 Python3 + numpy + matplotlib (无需 scipy/pandas)
