# FDC故障检测工具 v1.0

## 📖 工具简介

FDC（Fault Detection & Classification）故障检测与分类系统是半导体FAB设备监控的核心工具。实时监测设备腔室的工艺参数（温度、压力、流量、功率等），当参数超出预设阈值时立即告警，帮助工程师快速定位设备异常，保障生产质量。

## ✨ 核心功能

### 1. 实时告警监控
- 支持10个设备腔室（CVD-01/02, ETCH-01/02, IMP-01/02, PVD-01/02, CLEAN-01/02）
- 6种参数类型：温度、压力、流量、功率、真空度、射频功率
- 严重程度分级：高/中/低，自动判定
- 告警历史记录，包含超标比例计算

### 2. 阈值配置
- 每个参数类型独立配置上下限阈值
- 支持温度(℃)、压力(Torr)、流量(sccm)、功率(W)、真空度(Pa)等
- 阈值修改即时保存
- 趋势图中可视化显示阈值线

### 3. 数据可视化
- **折线趋势图**：展示参数随时间变化趋势，正常值vs报警值对比
- **腔室告警统计柱状图**：各腔室告警数量分布
- 支持图表导出PNG图片

### 4. 数据管理
- 内置50条FDC告警数据
- 支持添加、编辑、删除告警记录
- 多条件筛选：腔室、参数类型、严重程度、处理状态
- 关键词搜索
- 右键菜单快捷操作

### 5. Excel导出
- 导出完整告警记录
- 自动生成统计汇总表
- 腔室维度的告警统计

## 🖥️ 系统要求

- Python 3.8+
- tkinter（Python内置）
- matplotlib >= 3.5.0
- pandas >= 1.3.0
- openpyxl >= 3.0.0

## 🚀 安装运行

```bash
# 安装依赖
pip install -r requirements.txt

# 运行工具
python fdc_tool.py
```

## 📊 界面预览

- **深色主题**：专业级深色UI，减少视觉疲劳
- **SimHei字体**：确保中文显示正常
- **统计卡片**：实时显示总告警数、高严重、已处理、未处理数量
- **数据表格**：双击编辑、右键菜单、颜色标签区分严重程度

## 📋 内置数据

工具内置50条FDC告警数据，涵盖：
- 10个设备腔室
- 6种参数类型
- 3种严重程度
- 10种告警原因
- 3种处理状态

## 🎯 适用场景

- 半导体FAB设备日常监控
- 工艺工程师设备异常分析
- 设备工程师告警阈值优化
- 质量管理FDC告警数据统计

## 📝 注意事项

1. 首次使用请根据实际工艺窗口调整报警阈值
2. 建议定期导出数据做备份
3. 报警值仅供示例参考，请以实际工艺参数为准
4. 趋势图支持缩放和平移操作

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**版本**: v1.0  
**更新日期**: 2026-07-12  
**适用行业**: 半导体FAB制造
