SPC异常自动告警系统 v1.0
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【工具简介】
半导体FAB统计过程控制(SPC)实时监控工具。
内置10种常用工艺参数(膜厚/CD/剂量/电阻/WAT等)的SPC规则检测引擎，
实时检测越界、趋势漂移、连续偏移等6类异常，并弹出告警列表。
支持启停实时数据流模拟，适合工程师值班监控展示。

【功能特性】
1. SPC控制图：实时绘制X-bar图，含USL/LSL/TARGET/UCL/LCL控制线
2. 6种SPC告警规则：
   - 单点超出USL/LSL规格限
   - 连续3点中2点超出2sigma
   - 连续5点单调递增/递减趋势
   - 连续8点偏向中心线同一侧
   - 单点超出3sigma控制限
   - 连续6点趋势性漂移
3. 实时告警列表：分级显示(CRITICAL/WARNING)，带时间戳
4. 监控启停：模拟持续数据流注入，支持随时启停
5. Cpk实时计算：底部状态栏显示工艺能力指数
6. 10种内置监控参数：膜厚(Oxide/SiN)、CD栅极长度、注入剂量、
   方块电阻、接触孔电阻、WAT_Vth、WAT_Idlin、台阶覆盖率、CMP研磨速率

【内置异常演示数据】
- 膜厚(Oxide)：最后3点呈上升趋势，接近USL
- CD栅极长度：最后1点超出USL上限
- 方块电阻Rs：连续8点偏低于目标值
- WAT_Vth_NMOS：最后1点低于LSL下限

【运行方式】
双击运行 SPC告警系统.py

【适用场景】
- 工艺工程师值班SPC监控
- 新设备跑片稳定性验证
- 客户审核SPC报告演示
- 异常批次追踪分析

【注意事项】
- 仅使用标准库 tkinter + numpy + matplotlib
- 深色主题适合FAB无尘室环境查看
- 实时监控频率3秒/次，可调整代码中的sleep参数
