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部分析因筛选试验设计器（2^(k-p) 别名结构）
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因子数 k=6 -> 采用 2^(6-2) = 16 次试验；全因子需要 64 次
因子：A-刻蚀功率(400~600 W)、B-腔体压力(8~20 mTorr)、C-气体流量(80~140 sccm)、D-电极间距(12~20 mm)、E-基片温度(30~60 C)、F-背氦压力(4~12 Torr)

【方案对比】（同样 k 个因子，试验次数与分辨率的取舍）
  因子数      方案               分辨率      主效应 A 的别名组
  3        2^(3-0)=8次       全因子      A
  4        2^(4-1)=8次       R4       A、BCD
  5        2^(5-1)=16次      R5       A、BCDE
  6        2^(6-2)=16次      R4       A、BCE、BDF、ACDEF
  7        2^(7-4)=8次       R3       A、BD、CE、ABCDE、ABCF
  8        2^(8-4)=16次      R4       A、BCE、BDF、ACDEF、CDG
  说明：分辨率 R 的数字 = 定义关系中最短字的长度。R>=IV 时主效应不与二阶交互混杂；
        R=III 时主效应会与二阶交互混杂，只适合「先粗筛」，不能据此下结论。

【定义关系与别名结构】
  定义关系：I = ABCE、I = ABDF、I = CDEF
  分辨率：R4
  别名组（共 13 组，覆盖 21 个效应）:
    A                <-> BCE、BDF、ACDEF
    B                <-> ACE、ADF、BCDEF
    C                <-> ABE、ABCDF、DEF
    D                <-> ABCDE、ABF、CEF
    E                <-> ABC、CDF、ABDEF
    F                <-> ABD、CDE、ABCEF
    AB               <-> CE、DF、ABCDEF
    AC               <-> BE、BCDF、ADEF
    AD               <-> BCDE、BF、ACEF
    AE               <-> BC、ACDF、BDEF
    AF               <-> BD、ACDE、BCEF
    CD               <-> ABDE、ABCF、EF
    CF               <-> ABCD、DE、ABEF

【设计矩阵与试验结果】
  运行     A    B    C    D    E    F   响应        
  1      -    -    -    -    -    -   50.18     
  2      -    -    -    +    -    +   51.41     
  3      -    -    +    -    +    -   51.79     
  4      -    -    +    +    +    +   51.00     
  5      -    +    -    -    +    +   40.27     
  6      -    +    -    +    +    -   40.91     
  7      -    +    +    -    -    +   39.78     
  8      -    +    +    +    -    -   40.96     
  9      +    -    -    -    +    +   55.58     
  10     +    -    -    +    +    -   55.83     
  11     +    -    +    -    -    +   54.29     
  12     +    -    +    +    -    -   55.61     
  13     +    +    -    -    -    -   53.17     
  14     +    +    -    +    -    +   53.66     
  15     +    +    +    -    +    -   53.41     
  16     +    +    +    +    +    +   53.48     

【效应估计与显著性（Lenth 法）】
  误差尺度：s0 = 0.449，PSE = 0.286，边际误差 ME = 0.793（df=4），同时边际 SME = 1.122
  效应(代表)           估计值        |效应|       判定           别名组成员
  A                8.59       8.59       显著           A、BCE、BDF、ACDEF
  B                -6.26      6.26       显著           B、ACE、ADF、BCDEF
  C                -0.09      0.09       不显著          C、ABE、ABCDF、DEF
  D                0.55       0.55       不显著          D、ABCDE、ABF、CEF
  E                0.40       0.40       不显著          ABC、E、CDF、ABDEF
  F                -0.30      0.30       不显著          ABD、CDE、F、ABCEF
  AB               4.36       4.36       显著           AB、CE、DF、ABCDEF
  AC               -0.28      0.28       不显著          AC、BE、BCDF、ADEF
  AD               -0.02      0.02       不显著          AD、BCDE、BF、ACEF
  AE               -0.01      0.01       不显著          BC、AE、ACDF、BDEF
  AF               0.05       0.05       不显著          BD、ACDE、AF、BCEF
  CD               -0.11      0.11       不显著          CD、ABDE、ABCF、EF
  CF               -0.51      0.51       不显著          ABCD、DE、CF、ABEF
  注：同一别名组只给一个估计值（同列效应在数学上无法分开），组内其它效应用同一数值。
      效应口径 = 高水平均值 - 低水平均值 = 2 x 回归系数。

【结论与行动建议】
  1) 本次筛出的活跃项：A(+8.59，显著)、B(-6.26，显著)、AB(+4.36，显著)
  2) 主效应 A、B 数值最大，是下一步参数优化的首选方向。
  3) 当前方案分辨率 R4，主效应可无混杂估计，可直接用于筛选结论。
  4) 判定不显著的因子不要马上删：先确认其低/高水平跨度是否太小，
     跨度太小是「筛不出来」最常见的原因，不等于「真的没影响」。
  5) 建议补 3~5 次中心点：既检验曲率，也给误差尺度一个独立参照。
