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刻蚀终点检测 EPD 与 OES 光谱判定分析器
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信号口径：监测波长强度 / 参考波长强度（扣除光源与窗垢的整体漂移）
基线与判据：前 20% 点定基线；阶跃阈值 = max(3 x 基线标准差, 基线 x 10%)
             并要求之后 5 点持续低于基线（抑制单点毛刺误报）

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【G1-主刻蚀（强信号）】71 点，0~70 s
  基线（前 14 点）：均值 1.0027，标准差 0.0062
  阶跃判据阈值：0.1003（= max(3 sigma, 基线 x 10%)）
  平台段均值（末 20%）：0.1987；相对基线变化 80.2%
  信噪比 S/N = 130.21
  检出端点：t = 29 s（判据阈值 0.1003，最大下降幅度 0.2703）
  检测滞后：约 1 s（这一段时间对应的刻蚀量就是必须预留的过刻蚀预算）
  判定：端点可靠，可上线
  处置建议：可直接作为停机信号；建议再做 20 片重复性验证，把检测滞后计入过刻蚀时间。

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【G2-浅槽刻蚀（弱信号）】71 点，0~70 s
  基线（前 14 点）：均值 0.9837，标准差 0.0163
  阶跃判据阈值：0.0984（= max(3 sigma, 基线 x 10%)）
  平台段均值（末 20%）：0.9498；相对基线变化 3.4%
  信噪比 S/N = 2.07
  未检出端点：整个序列没有超过阈值的下降（最大下降 0.0310 < 阈值 0.0984）
  判定：信号不足，暂不能上线 EPD
  处置建议：相对变化只有 3.4%，低于 10% 判据阈值；先延长积分时间、加大光通量或换更强发射线，把信噪比提上去再谈检测。

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【G3-渐变收尾（无阶跃）】71 点，0~70 s
  基线（前 14 点）：均值 0.9968，标准差 0.0047
  阶跃判据阈值：0.0997（= max(3 sigma, 基线 x 10%)）
  平台段均值（末 20%）：0.5240；相对基线变化 47.4%
  信噪比 S/N = 99.81
  未检出端点：整个序列没有超过阈值的下降（最大下降 0.0231 < 阈值 0.0997）
  判定：无明确阶跃（渐变型），不能直接用阶跃判据
  处置建议：该波长在刻蚀过程中是渐变而非跳变；改用「斜率 + 二阶导」判据，或改选强度变化更陡的产物发射线/反射率干涉信号。

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【三组信号的关键指标对照】
  组别                       基线         标准差        相对变化         S/N        端点
  G1-主刻蚀（强信号）              1.0027     0.0062     80.2%        130.21     29 s
  G2-浅槽刻蚀（弱信号）             0.9837     0.0163     3.4%         2.07       未检出
  G3-渐变收尾（无阶跃）             0.9968     0.0047     47.4%        99.81      未检出

【结论与行动建议】
  1) 上线 EPD 之前先跑本表：基线噪声、相对变化、判据阈值三个数字摆出来，
     就知道这条波长「能不能用」，不用等装好设备再发现测不到。
  2) 判据阈值不能只按 3 sigma 定，还要设一个「相对基线的百分比下限」，
     否则一条噪声很低的通道会把 1% 的漂移当成终点，反而造成大量误停。
  3) 检出滞后（本算例约 1 s）是系统性过刻蚀量：把滞后时间乘上刻蚀速率，
     就是必须预留的过刻蚀预算，要和选择比一起评估。
  4) 渐变型信号不要硬用阶跃判据；改用斜率/累积偏差法，或者换用带明显拐点的波长。
  5) 每次换配方、换腔体、换窗口后都要重跑本表：基线会变，阈值不能沿用旧值。
