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腔体 Season 与首片效应分析器
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模型：rate(n) = target + A * exp(-n/tau)；拟合用 tau 网格搜索（0.20~8.00 步长 0.01）
稳定判据：偏差收敛到 ±1%（宽松 ±2%）；season 单片成本 300 元；各腔体已跑 8 片

【逐腔体拟合结果】
  腔体            target          A       tau        R2      首片偏差% 拟合评价
  ETCH-A        119.97      18.07      1.99    0.9998      15.07 优
  ETCH-B         94.97       6.35      0.96    0.9960       6.68 优
  ETCH-C        199.99      40.03      2.99    1.0000      20.02 优
  CVD-D         149.97      10.48      0.87    0.9982       6.99 优
  PVD-E          79.98      12.05      2.48    0.9996      15.07 优

【拟合值与真实值反查（示例数据由已知参数生成）】
  腔体            真实target     拟合target          真实A          拟合A        真实tau 拟合tau
  ETCH-A          120.00       119.97        18.00        18.07         2.00 1.99
  ETCH-B           95.00        94.97         6.00         6.35         1.00 0.96
  ETCH-C          200.00       199.99        40.00        40.03         3.00 2.99
  CVD-D           150.00       149.97        10.00        10.48         0.90 0.87
  PVD-E            80.00        79.98        12.00        12.05         2.50 2.48

【Season 片数与成本】
  腔体               ±1%片数        ±2%片数         已跑片数     season成本        首片偏差% 判定
  ETCH-A               6            5            8         1800        15.07 已稳定
  ETCH-B               2            2            8          600         6.68 首片效应小，可直接量产
  ETCH-C               9            7            8         2700        20.02 需继续 season（差 1 片）
  CVD-D                2            2            8          600         6.99 首片效应小，可直接量产
  PVD-E                7            6            8         2100        15.07 已稳定

【偏差随片序衰减核对（ETCH-C 为例）】
       片序n         实测速率         模型速率        偏差%
         1       228.66       228.64      14.34
         2       220.44       220.50      10.23
         3       214.72       214.67       7.37
         4       210.45       210.50       5.23
         5       207.57       207.51       3.79
         6       205.33       205.37       2.67
         7       203.90       203.84       1.95
         8       202.70       202.75       1.35

【结论与行动建议】
  1) 需要继续 season 的腔体 1 台：ETCH-C
     ETCH-C：±1% 需跑 9 片，当前只跑了 8 片，season 成本 2700 元/次清洗
     处置：这些腔体清洗后必须按建议片数跑 season 片，且 season 片不要复用；
     若产能紧张，可用低等级片替代，但不能省掉这个过程。
  2) season 片数不超过 2 片（快速达标）的腔体 2 台：ETCH-B、CVD-D
     可以只跑 1~2 片确认，或直接按首片数据微调配方；这类腔体不必浪费 season 片。
  3) tau 是「腔体恢复速度」的指纹：tau 明显变大往往意味着清洗不彻底或内壁涂层老化，
     建议把 tau 纳入清洗后的例行复核项，比只看首片速率更灵敏。
  4) 首片偏差 A/target 超过 10%% 的腔体，工艺窗口要按偏差点重新校核 ——
     否则清洗后的第一批产品一定超差，这是良率损失里最容易被忽略的一笔。
  5) season 片数的成本核算建议按「清洗次数 x 单片成本 x 片数」做年度预算，
     本工具给的 ±1%% 判据偏严，产能紧张的腔体可以用 ±2%% 判据做折中。
