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MES 与设备日志产量对账差异归因器
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口径：差异 D = 设备日志计数 - MES 报工数；已解释 = 报废 + 返工 + 重测；未解释 = D - 已解释
偏差率 = 未解释 / 设备日志计数；容差 ±0.5%（超出即判需核查）

【逐日逐工序明细】
  日期           工序            设备       MES       差异D       已解释       未解释      偏差率% 判定
  2026-10-05   光刻          1200      1180        20        18         2     0.167 一致
  2026-10-05   刻蚀          1150      1140        10         8         2     0.174 一致
  2026-10-05   沉积          1010      1005         5         5         0     0.000 一致
  2026-10-06   光刻          1220      1185        35        20        15     1.230 需核查：MES 少记
  2026-10-06   刻蚀          1180      1175         5         5         0     0.000 一致
  2026-10-06   沉积           980       975         5         5         0     0.000 一致
  2026-10-07   刻蚀          1180      1120        60        53         7     0.593 需核查：MES 少记
  2026-10-07   CMP          900       900         0         4        -4    -0.444 一致

【按工序汇总】
  工序             设备合计      MES合计       差异       已解释       未解释        偏差率% 不合格天数
  光刻             2420       2365       55        38        17       0.702 1
  刻蚀             3510       3435       75        66         9       0.256 1
  CMP             900        900        0         4        -4      -0.444 0
  沉积             1990       1980       10        10         0       0.000 0

【合计】设备 8820 片 / MES 8680 片 / 未解释合计 22 片 / 整体偏差率 0.249%

【结论与行动建议】
  1) 需核查记录 2 / 8 条：10-06 光刻（+1.230%）、10-07 刻蚀（+0.593%）
     2026-10-06 光刻：设备 1220，MES 1185，差异 35，已解释 20，未解释 15（需核查：MES 少记）
     2026-10-07 刻蚀：设备 1180，MES 1120，差异 60，已解释 53，未解释 7（需核查：MES 少记）
     优先查 2026-10-06 光刻：未解释 15 片，是全部异常里最大的。
     排查顺序：① 该时段是否有设备手动操作/离线模式未落 MES 事件；
     ② 重测片是否被设备重复计数（重测同一片会被设备算两次）；
     ③ 人工报工是否用了「补录」而跳过电子过站。
  2) 一致记录 6 条（偏差率绝对值 <= 0.5%），说明过站与报工链路基本正常。
  3) 重测是差异的高发来源：2026-10-07 刻蚀
     重测片在设备日志里会被重复计数，建议在设备日志里单独打「重测」标志位，
     否则每天都要人工解释同一类差异。
  4) 建议把本对账做成日结：每天班次结束自动跑一次，偏差率超容差就推给当班班组长，
     不要等到月末盘点才发现产量对不上 —— 那时候现场记忆已经没了。
