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洁净室洁净度等级判定器（ISO 14644-1:2015 / GB/T 25915.1）
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采样点数 NL = ceil(sqrt(A))    单点最小采样量 V_min = (20/Cn,m)*1000 (L)
等级限值 Cn = 10^N * (0.1/D)^2.08    均值判定用 2015 版；置信上限判定用 1999 版
判定粒径：0.5、5.0 um

【各区域等级限值（个/m3）】
  目标等级         粒径um 指数            限值C(实际)           标准表值             比对
  ISO 5         0.5 -              3516.8           3520             一致
  ISO 5         5.0 -                29.3             29             一致
  ISO 6         0.5 -             35167.6          35200             一致
  ISO 6         5.0 -               292.5            293             一致
  ISO 7         0.5 -            351675.7         352000             一致
  ISO 7         5.0 -              2925.1           2930             一致
  ISO 8         0.5 -           3516757.2        3520000             一致
  ISO 8         5.0 -             29251.1          29300             一致

【采样点数与采样量核算】
  区域           面积m2       要求点数       实测点数 布点判定           要求采样量L        实测最小L 采样量判定   
  光刻间          24.0          5          5 满足                5.7         28.3 满足      
  刻蚀间          36.0          6          6 满足                0.6          8.5 满足      
  封装间         100.0         10          4 不足                0.0          2.0 满足      

【逐测点实测浓度与达标判定】
  区域       测点         采样量L    0.5um个/m3           限值 0.5判定      5.0um个/m3           限值 5.0判定  
  光刻间      P1         28.3       1484.1         3517 达标              0.00           29 达标     
  光刻间      P2         28.3       1943.5         3517 达标             35.34           29 超标     
  光刻间      P3         28.3       1342.8         3517 达标              0.00           29 达标     
  光刻间      P4         28.3       2155.5         3517 达标              0.00           29 达标     
  光刻间      P5         28.3       1660.8         3517 达标              0.00           29 达标     
  刻蚀间      Q1          8.5      11294.1        35168 达标              0.00          293 达标     
  刻蚀间      Q2          8.5      10352.9        35168 达标              0.00          293 达标     
  刻蚀间      Q3          8.5      12235.3        35168 达标              0.00          293 达标     
  刻蚀间      Q4          8.5       9294.1        35168 达标              0.00          293 达标     
  刻蚀间      Q5          8.5      10705.9        35168 达标              0.00          293 达标     
  刻蚀间      Q6          8.5      10000.0        35168 达标              0.00          293 达标     
  封装间      R1          2.0    1700000.0      3516757 达标           3000.00        29251 达标     
  封装间      R2          2.0    2050000.0      3516757 达标           4500.00        29251 达标     
  封装间      R3          2.0    1450000.0      3516757 达标           2000.00        29251 达标     
  封装间      R4          2.0    1900000.0      3516757 达标           5500.00        29251 达标     

【逐区域统计与等级判定】
  区域       目标          点数          0.5均值     0.5的95%UCL             限值 逐点判定      UCL判定     实测等级     
  光刻间      ISO 5        5         1717.3         2033.9           3517 超标        达标        ISO 5    
  刻蚀间      ISO 6        6        10647.1        11492.4          35168 达标        达标        ISO 6    
  封装间      ISO 8        4      1775000.0      2080663.7        3516757 达标        达标        ISO 8    

【实测等级明细（N = log10(C) + 2.08*log10(D/0.1)）】
  区域               0.5um反算N         5.0um反算N          取最大 判定等级(向上取整)    
  光刻间                 4.689            4.383        4.689 ISO 5         
  刻蚀间                 5.481              无计数        5.481 ISO 6         
  封装间                 7.703            7.108        7.703 ISO 8         

【结论与行动建议】
  · 光刻间（目标 ISO 5）：0.5um 均值 1717.3，为限值的 48.8%；实测达到 ISO 5。
  · 刻蚀间（目标 ISO 6）：0.5um 均值 10647.1，为限值的 30.3%；实测达到 ISO 6。
  · 封装间（目标 ISO 8）：0.5um 均值 1775000.0，为限值的 50.5%；实测达到 ISO 8。
  1) 逐点判定超标区域：光刻间 —— 该区域按 2015 版判定即为不合格，必须先做整改（查漏风、换高效过滤器、
     检查人员/物料进出频率与更衣规范）后重新测试，不能靠增加采样次数据抹平。
  2) 所有区域 95% UCL 判定同样达标，两版标准结论一致。
  3) 余量最小的区域是 封装间（均值仅为限值的 50.5%），是下一次复测最该盯的地方。
  4) 采样合规提示：布点数量不足的区域有 封装间（实测4点/要求10点） —— 点数不够时，测试结果不能代表整个区域，
     按标准要求补足采样点后重新判定，否则验收报告在方法上就不成立。
  5) 等级限值随粒径变化很陡（(0.1/D)^2.08），小粒径超一点往往意味着换气次数或过滤器效率不足，
     而大粒径（>=5um）超标通常指向人员活动、包装材料与设备发尘，两者的整改方向完全不同。
