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超纯水 UPW 水质指标达标判定器
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温度折算：R25 = R_T / (1 + alpha*(T-25))，alpha = -0.052 每度（超纯水 25 度附近近似值）
判定口径：逐项对照等级限值；电阻率越大越好，其余指标越小越好；综合等级取最差项。

【等级限值表】
  等级       指标                           限值 方向     单位
  UPW-1    电阻率MOhmcm               18.1000 越大越好   MOhm*cm
  UPW-1    TOCppb                   1.0000 越小越好   ppb
  UPW-1    颗粒0.05um每mL            100.0000 越小越好   个/mL
  UPW-1    细菌CFU每100mL              0.1000 越小越好   CFU/100mL
  UPW-1    SiO2ppb                  0.5000 越小越好   ppb
  UPW-1    DOppb                    1.0000 越小越好   ppb
  UPW-2    电阻率MOhmcm               18.0000 越大越好   MOhm*cm
  UPW-2    TOCppb                   3.0000 越小越好   ppb
  UPW-2    颗粒0.05um每mL            300.0000 越小越好   个/mL
  UPW-2    细菌CFU每100mL              1.0000 越小越好   CFU/100mL
  UPW-2    SiO2ppb                  2.0000 越小越好   ppb
  UPW-2    DOppb                   10.0000 越小越好   ppb
  UPW-3    电阻率MOhmcm               17.5000 越大越好   MOhm*cm
  UPW-3    TOCppb                  10.0000 越小越好   ppb
  UPW-3    颗粒0.05um每mL           1000.0000 越小越好   个/mL
  UPW-3    细菌CFU每100mL             10.0000 越小越好   CFU/100mL
  UPW-3    SiO2ppb                 10.0000 越小越好   ppb
  UPW-3    DOppb                   50.0000 越小越好   ppb

【温度折算明细】
  取样点    工序段               水温C       实测MOhmcm          折算25度 折算判定     说明
  U1     一级RO出水           25.2           0.90           0.91 已折算      取样温度在 24-26 度区间内
  U2     EDI出水            25.1          18.00          18.09 已折算      取样温度在 24-26 度区间内
  U3     抛光混床后            23.5          18.60          17.25 已折算      取样温度偏离 25 度，必须折算
  U4     送水主管             26.8          17.20          18.98 已折算      取样温度偏离 25 度，必须折算
  U5     光刻用点             24.9          18.20          18.11 已折算      取样温度在 24-26 度区间内
  U6     清洗用点             25.0          18.10          18.10 无需折算     取样温度在 24-26 度区间内
  U7     回水总管             25.3          18.05          18.34 已折算      取样温度在 24-26 度区间内
  U8     清洗用点B            25.0          18.05          18.05 无需折算     取样温度在 24-26 度区间内

【逐取样点逐项判定】
  取样点    目标       指标                           实测           限值      实测/限值 判定    
  U1     UPW-3    电阻率MOhmcm                0.9095      17.5000     19.242 超标    
  U1     UPW-3    TOCppb                  42.0000      10.0000      4.200 超标    
  U1     UPW-3    颗粒0.05um每mL           8600.0000    1000.0000      8.600 超标    
  U1     UPW-3    细菌CFU每100mL             62.0000      10.0000      6.200 超标    
  U1     UPW-3    SiO2ppb                180.0000      10.0000     18.000 超标    
  U1     UPW-3    DOppb                  220.0000      50.0000      4.400 超标    
  U2     UPW-2    电阻率MOhmcm               18.0941      18.0000      0.995 达标    
  U2     UPW-2    TOCppb                   2.8000       3.0000      0.933 达标    
  U2     UPW-2    颗粒0.05um每mL            280.0000     300.0000      0.933 达标    
  U2     UPW-2    细菌CFU每100mL              0.9000       1.0000      0.900 达标    
  U2     UPW-2    SiO2ppb                  1.8000       2.0000      0.900 达标    
  U2     UPW-2    DOppb                    9.0000      10.0000      0.900 达标    
  U3     UPW-2    电阻率MOhmcm               17.2542      18.0000      1.043 超标    
  U3     UPW-2    TOCppb                   1.2000       3.0000      0.400 达标    
  U3     UPW-2    颗粒0.05um每mL             90.0000     300.0000      0.300 达标    
  U3     UPW-2    细菌CFU每100mL              0.3000       1.0000      0.300 达标    
  U3     UPW-2    SiO2ppb                  0.6000       2.0000      0.300 达标    
  U3     UPW-2    DOppb                    3.0000      10.0000      0.300 达标    
  U4     UPW-2    电阻率MOhmcm               18.9762      18.0000      0.949 达标    
  U4     UPW-2    TOCppb                   2.9000       3.0000      0.967 达标    
  U4     UPW-2    颗粒0.05um每mL            290.0000     300.0000      0.967 达标    
  U4     UPW-2    细菌CFU每100mL              0.9500       1.0000      0.950 达标    
  U4     UPW-2    SiO2ppb                  1.9000       2.0000      0.950 达标    
  U4     UPW-2    DOppb                    9.5000      10.0000      0.950 达标    
  U5     UPW-1    电阻率MOhmcm               18.1058      18.1000      1.000 达标    
  U5     UPW-1    TOCppb                   0.8000       1.0000      0.800 达标    
  U5     UPW-1    颗粒0.05um每mL             60.0000     100.0000      0.600 达标    
  U5     UPW-1    细菌CFU每100mL              0.0500       0.1000      0.500 达标    
  U5     UPW-1    SiO2ppb                  0.4000       0.5000      0.800 达标    
  U5     UPW-1    DOppb                    0.8000       1.0000      0.800 达标    
  U6     UPW-1    电阻率MOhmcm               18.1000      18.1000      1.000 达标    
  U6     UPW-1    TOCppb                   1.6000       1.0000      1.600 超标    
  U6     UPW-1    颗粒0.05um每mL            140.0000     100.0000      1.400 超标    
  U6     UPW-1    细菌CFU每100mL              0.1500       0.1000      1.500 超标    
  U6     UPW-1    SiO2ppb                  0.6000       0.5000      1.200 超标    
  U6     UPW-1    DOppb                    1.2000       1.0000      1.200 超标    
  U7     UPW-2    电阻率MOhmcm               18.3360      18.0000      0.982 达标    
  U7     UPW-2    TOCppb                   4.8000       3.0000      1.600 超标    
  U7     UPW-2    颗粒0.05um每mL            380.0000     300.0000      1.267 超标    
  U7     UPW-2    细菌CFU每100mL              1.4000       1.0000      1.400 超标    
  U7     UPW-2    SiO2ppb                  2.6000       2.0000      1.300 超标    
  U7     UPW-2    DOppb                   12.0000      10.0000      1.200 超标    
  U8     UPW-1    电阻率MOhmcm               18.0500      18.1000      1.003 超标    
  U8     UPW-1    TOCppb                   0.9000       1.0000      0.900 达标    
  U8     UPW-1    颗粒0.05um每mL            110.0000     100.0000      1.100 超标    
  U8     UPW-1    细菌CFU每100mL              0.0800       0.1000      0.800 达标    
  U8     UPW-1    SiO2ppb                  0.5000       0.5000      1.000 达标    
  U8     UPW-1    DOppb                    0.9000       1.0000      0.900 达标    

【综合判定（短板决定等级）】
  取样点    目标               最差倍数 目标判定       未达标项                                     实测可达等级
  U1     UPW-3          19.242 不达标        电阻率MOhmcm、TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb 优于 UPW-3 仍不达标
  U2     UPW-2           0.995 达标         无                                        UPW-2
  U3     UPW-2           1.043 不达标        电阻率MOhmcm                                优于 UPW-3 仍不达标
  U4     UPW-2           0.967 达标         无                                        UPW-2
  U5     UPW-1           1.000 达标         无                                        UPW-1
  U6     UPW-1           1.600 不达标        TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb UPW-2
  U7     UPW-2           1.600 不达标        TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb UPW-3
  U8     UPW-1           1.100 不达标        电阻率MOhmcm、颗粒0.05um每mL                    UPW-2

【不达标项汇总与整改方向】
  · U1（一级RO出水，目标 UPW-3）：未达标 电阻率MOhmcm、TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb，最差倍数 19.242
  · U3（抛光混床后，目标 UPW-2）：未达标 电阻率MOhmcm，最差倍数 1.043
  · U6（清洗用点，目标 UPW-1）：未达标 TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb，最差倍数 1.600
  · U7（回水总管，目标 UPW-2）：未达标 TOCppb、颗粒0.05um每mL、细菌CFU每100mL、SiO2ppb、DOppb，最差倍数 1.600
  · U8（清洗用点B，目标 UPW-1）：未达标 电阻率MOhmcm、颗粒0.05um每mL，最差倍数 1.100

【整改方向对照表】
  电阻率不足  -> 查 EDI 电流与混床树脂是否失效、管路是否析出离子、取样是否吸入 CO2
  TOC 偏高    -> 查 UV 氧化灯管寿命、树脂有机物溶出、管路死角与备件密封材料
  颗粒偏多    -> 查终端过滤器压差与完整性、阀门启闭磨损、管路弯头与死角
  细菌偏高    -> 查管路消毒周期、死角滞留段、取样口灭菌与采样手法
  SiO2 偏高   -> 查 RO 脱盐率、原水硅含量、混床与 EDI 硅泄漏
  溶解氧偏高  -> 查脱气膜组件、真空度、缓冲罐氮封与回水管路密封

【观测点对比】
  取样点    工序段          目标                折算电阻率       实测倍数       达标项数
  U1     一级RO出水       UPW-3              0.91     19.242        0/6
  U2     EDI出水        UPW-2             18.09      0.995        6/6
  U3     抛光混床后        UPW-2             17.25      1.043        5/6
  U4     送水主管         UPW-2             18.98      0.967        6/6
  U5     光刻用点         UPW-1             18.11      1.000        6/6
  U6     清洗用点         UPW-1             18.10      1.600        1/6
  U7     回水总管         UPW-2             18.34      1.600        1/6
  U8     清洗用点B        UPW-1             18.05      1.100        4/6

【结论与行动建议】
  1) 折算前后差异提示：6 个取样点因水温偏离 25 度需要折算，若直接拿读数比标准会误判。
  2) 达标取样点 3 个 / 共 8 个；不达标 5 个。
  3) 不合格点集中在：U1(一级RO出水)、U3(抛光混床后)、U6(清洗用点)、U7(回水总管)、U8(清洗用点B) —— 建议按上表对照表逐项排查，先处理最差倍数最大的那一个。
  4) 用点水质才是关键：送水主管（U4）达标不代表用点达标，反之亦然；验收与日常监控
     都应以用点（POU）数据为准，主管数据只用于定位问题发生在哪一段。
  5) 颗粒与细菌两个指标对取样手法极其敏感，读数异常时先复核取样瓶洁净度、
     取样口冲洗时间与手套操作，再判断系统本身是否有问题。
