叶志辉个人技术

[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响 【摘要】同一套刻蚀配方，A产品跑出的深度是356nm，B产品却只有312nm，设备日志、气体流量、RF功率全部正常。根因不在设备，而在版图——图形密度...