VIP工具资源包下载(持续更新)
整理了 351个 半导体FAB工程师必备工具,覆盖SPC、OEE、FDC、MES、良率分析、工艺参数等全流程,全部免费下载使用。
🆕 本轮新增(2026-10-10 · 10 款)
以下是本次新增的 10 款工具,主题是「把拍脑袋的周期、验收、排产决定换成有算式的口径」:质量与抽样(假设检验样本量与检出力 / 过程能力 Pp-Ppk 与 Cpk 差异诊断)、设备与维保(预防维修间隔与可用度成本 / 定位精度与反向间隙验收)、生产与交付(TOC 鼓-缓冲-绳与缓冲管理 / 多品种生产组合与瓶颈产能分配)、工艺机理(CMP 碟形凹陷与侵蚀量 / 掩模 MEEF 与 CD 偏差传递)、寻优与人因(贝叶斯优化工艺参数寻优 / 人机工程作业姿势负荷 REBA)。共同口径:能算的都给出算式与中间量,结论必须带数字;数据不足时明确不外推,不给假精度。均已并入下方对应分类(分类内以橙框标记)。每款均含可运行 Python 脚本、自动示例数据、中文分析报告、README 使用说明与 1 套同主题 AI 提示词,核心功能零第三方依赖,Python 3.8+ 开箱即跑。
| 工具 | 解决什么问题 | 下载 |
|---|
| 假设检验样本量与检出力设计器 | 抽 30 片就够了吗。按单样本 t / 双样本 t / 双比例 z / 方差检验四类口径,算出达到目标检出力所需样本量与最小可检测差异(MDE),并对照「只抽 30 片」实际能检出的差异,给样本量余量与配对/分层等工程替代方案 | 下载 zip |
| 过程能力Pp-Ppk与Cpk差异诊断器 | Cpk 1.8 看着漂亮客户却还在退货 —— 差距来源要拆开。组内 Cp/Cpk 与整体 Pp/Ppk 两种口径对照,方差分解量化批间漂移占总变异的比例并点名漂移批,判定该压波动还是控中心,并明确对客户报 Ppk、对内改善用 Cpk 的口径分工 | 下载 zip |
| 预防维修间隔与可用度成本最优化器 | PM 周期不是厂家说 3 个月就得 3 个月。用威布尔过程劣化模型在故障成本与维修成本之间算最优周期 T*(解析式与数值网格互校),对照现状周期与纯事后维修的年化成本与可用度,并给「PM 后不完全恢复如新」时的收紧建议 | 下载 zip |
| 设备定位精度与反向间隙验收分析器 | 验收单只写「精度合格」等于没验收。按正/反行程测量分开判定位精度 A、双向重复定位精度 R 与反向差值 B,输出可写入数控系统的反向间隙补偿值与螺距误差补偿表,并用补偿后预期 R 判定「参数可补偿」还是「必须修机械」 | 下载 zip |
| 约束理论TOC鼓-缓冲-绳与缓冲管理分析器 | 谁催得急就做谁,等于把瓶颈产能交给嗓门最大的人。鼓-缓冲-绳三件套落地:工作中心负荷率排序识别瓶颈、时间缓冲按消耗分红黄绿、按绳长定投料在制上限,给出今日瓶颈加工顺序与 FIFO / 缓冲管理 / EDD 三口径的逾期对照 | 下载 zip |
| 多品种生产组合与瓶颈产能分配优化器 | 「单位贡献高的先做满」在多个资源吃紧时会让你少赚钱。以各产品在瓶颈资源上的工时贡献为基础,在需求上限与产能约束内做组合分配,对照贪心口径量化机会成本,输出各产品建议产量与瓶颈排产优先级 | 下载 zip |
| CMP碟形凹陷与侵蚀量预测器 | 宽金属块上的碟形凹陷不是抛光参数问题 —— 是版图问题。按线宽与图形密度分区域建立凹陷/侵蚀的预测关系,识别「改参数改不掉」的版图主导区域与「调压速能救」的参数主导区域,分别给版图借位与抛光参数的改善方向 | 下载 zip |
| 光刻掩模MEEF与CD偏差传递分析器 | 晶圆 CD 超差,第一反应是调剂量 —— 但真凶常常是掩模误差被 MEEF 放大了。由掩模 CD 与晶圆 CD 成对测量回归求 MEEF,做 CD 偏差传递分解与能力评估,反算「掩模侧要控到多少才能保住晶圆 CD 规格」并给剂量/焦点排查顺序 | 下载 zip |
| 贝叶斯优化工艺参数寻优器(高斯过程+EI) | 每次试验都花机时和材料 —— 那就让每次试验都花在最有信息量的点上。纯标准库实现高斯过程回归 + 期望改进(EI)采集函数,在小样本试验数据上推荐下一组最值得试的参数与预测最优点,并给探索/收敛过程记录供复盘 | 下载 zip |
| 人机工程作业姿势负荷评估器(REBA) | 「这个工位累不累」不该靠感觉吵。按 REBA 计分表把躯干/颈部/腿部/上肢姿势与负荷折算成可比分值并分级(可接受/需改善/尽快改善/立即改善),多工位横向排序给工位改善优先级,附典型姿势的减分项对照 | 下载 zip |
VIP工具包总览(共351个工具)
SPC与质量分析(77个)
SPC控制图、CPK过程能力、Nelson判异、MSA测量系统、良率损失分析、质量体系等
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OEE与设备效能(61个)
OEE效率计算、设备MTBF/MTTR、FDC故障诊断、设备报警分析、维护排程等
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MES与生产管理(55个)
MES工单、WIP派工、批次追溯、物料BOM、生产排程、供应商管理等
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工艺参数分析(66个)
光刻/刻蚀/CMP/离子注入/薄膜沉积工艺参数优化、配方版本管理等
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AI与智能分析(37个)
LSTM良率预测、KNN缺陷分类、虚拟量测、异常检测、能耗优化等
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工程效率工具(11个)
FAB日报、报表自动化、工程师日报、术语换算等效率工具
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其他工具(44个)
其他实用工具
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使用说明
1. 点击上方任意工具名称即可下载对应ZIP压缩包。
2. 解压后双击运行 .py 文件即可使用(需 Python 3.8+ 环境,推荐 Anaconda)。
3. 所有工具均为独立 Tkinter GUI 界面,开箱即用,无需额外配置。
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