VIP工具资源包下载
VIP工具资源包下载（持续更新）
整理了 171个 半导体FAB工程师必备工具，覆盖SPC、OEE、FDC、MES、良率分析、工艺参数等全流程，全部免费下载使用。
VIP工具包总览（共171个工具）
SPC与质量分析（35个）
SPC控制图、CPK过程能力、Nelson判异、MSA测量系统、良率损失分析、质量体系等
六西格玛水平计算器
分布对比箱线图分析器
半导体工艺控制计划工具v2
半导体控制计划CP工具v2
半导体质量管理体系QMSv2
半导体SPC控制图分析工具v2
抽样检验AQL计算器
控制计划CP管理工具
数据质量治理
晶圆测试CP分析工具
柏拉图Pareto分析器
正态性检验工具
良率损失分解器
虚拟量测VM预测器
质量体系QMS工具
质量成本COPQ分析器
鱼骨图5Why根因分析器
8D报告生成器
CPK过程能力计算器
Cpk趋势监控器
EWMA指数加权控制图
FAB_柏拉图_Pareto分析工具
FAB_量测数据比对分析器
FAB_CPK_过程能力计算器
FAB_EWMA_指数加权监控工具
FAB_Nelson规则检验器
FAB_SPC_控制图分析器
IMR单值移动极差控制图
MSA测量系统分析工具
Nelson八规则控制图判异器
SPC异常自动告警
SPC控制图分析工具
SPC控制图分析工具_20260716.u9958
SPC控制图工具集
XbarR均值极差控制图
OEE与设备效能（36个）
OEE效率计算、设备MTBF/MTTR、FDC故障诊断、设备报警分析、维护排程等
产能负荷分析器
传感器漂移检测工具
半导体设备产能分析v2
半导体设备维护调度v2
半导体FDC故障诊断v2
半导体OEE效率看板v2
设备产能分析工具
设备停机损失分析器_Andon
设备台账校准周期管理器
设备报警分析工具集
设备报警频次分类分析器
设备维护工具集
设备维护排程优化器
设备维护调度工具
设备OEE效率工具
FAB_产能规划仿真器
FAB_告警收敛_KPI分析器
FAB_哨兵点配置优化器
FAB_备件库存优化器
FAB_换型时间分析器
FAB_设备健康评分计算器
FAB_设备EAP连接测试器
FAB_设备MTBF_MTTR分析器
FAB_预测性维护计划生成器
FAB_FDC_异常事件分析器
FAB_FDC_故障规则配置工具
FAB_MES_库存台账管理
FAB_MES_设备维护工单
FAB_OEE_设备综合效率计算器
FDC故障检测工具集
FDC故障诊断工具
MQTT设备数据采集监控器
MTBF_MTTR可靠性计算器
OEE综合效率计算器
OEE设备效率工具集
OEE设备效率看板工具
MES与生产管理（25个）
MES工单、WIP派工、批次追溯、物料BOM、生产排程、供应商管理等
半导体批次追溯增强版v2
半导体批次追溯工具v2
半导体物料BOM管理v2
半导体生产排程优化v2
半导体MES工单管理v2
批次追溯工具集
批次追溯工具
批次追溯系统Batch
批次追溯系统
物料BOM管理系统
生产排程优化工具
APS高级计划排程模拟器
FAB_交期达成率预测器
FAB_供应商来料检验系统
FAB_批次追溯查询系统
FAB_生产瓶颈分析器
FAB_ISO文件版本管理系统
FAB_MES_工单管理系统
FAB_MES_生产排程器
FAB_MES_良率管理系统
FAB_WIP_在制品追踪器
IQC进料检验工具
MES工单管理工具集
MES工单管理工具
WIP动态派工调度器
工艺参数分析（36个）
光刻/刻蚀/CMP/离子注入/薄膜沉积工艺参数优化、配方版本管理等
光刻工艺参数工具
光刻工艺工具集
光刻曝光参数计算器
刻蚀工艺分析工具
刻蚀工艺参数工具
刻蚀工艺工具集
刻蚀速率均匀性分析器
半导体光刻工艺参数v2
半导体刻蚀工艺分析v2
半导体离子注入分析v2
半导体薄膜沉积分析v2
半导体CMP研磨工艺v2
套刻精度Overlay分析器
工艺窗口优化工具集
工艺窗口PW多因子分析器
扩散退火工艺模拟器
清洗颗粒度检测分析器
离子注入剂量能量计算器
离子注入参数工具
离子注入工艺工具
薄膜厚度均匀性分析器
薄膜沉积分析工具
薄膜沉积参数工具
薄膜沉积工具集
配方偏离Recipe检测器
配方版本管理工具
CMP化学机械抛光工具
CMP研磨工艺工具
CMP研磨速率计算器
FAB_光刻参数优化器
FAB_刻蚀速率预测器
FAB_工艺窗口优化器
FAB_离子注入剂量计算器
FAB_薄膜厚度均匀性分析
FAB_CMP_研磨速率计算器
FAB_Recipe版本管理器
AI与智能分析（13个）
LSTM良率预测、KNN缺陷分类、虚拟量测、异常检测、能耗优化等
批次良率趋势追踪器
电费峰谷优化调度器
缺陷分类追踪工具
缺陷密度关联分析器
缺陷密度良率关联分析器
APC参数优化工具集
FAB能耗碳排放核算器
FAB_水耗分析工具
FAB_电价优化调度器
FAB_碳排放计算器
FAB_缺陷分类_KNN工具
FAB_能耗监控看板
FAB_良率预测_LSTM工具
工程效率工具（5个）
FAB日报、报表自动化、工程师日报、术语换算等效率工具
其他工具（21个）
其他实用工具
半导体洁净室监控v2
半导体缺陷追踪工具v2
半导体良率分析工具v2
晶圆WaferMap缺陷可视化器
洁净室监控工具
洁净室监控系统
缺陷追踪工具
膜厚测量数据分析工具
良率分析工具集
良率分析工具_20260716.u9981
良率分析工具
BinMap良率帕累托分析器
FAB_客户投诉处理追踪器
FAB_废弃物管理系统
FAB_质量异常处理流程器
FAB_黄金片校准工具
FAB_GEM300_事件监控器
FAB_QA审核检查清单
FAB_SECSGEM_协议调试工具
FAB_SECS_消息构造器
SECS-GEM消息解析器
使用说明
1. 点击上方任意工具名称即可下载对应ZIP压缩包。
2. 解压后双击运行 .py 文件即可使用（需 Python 3.8+ 环境，推荐 Anaconda）。
3. 所有工具均为独立 Tkinter GUI 界面，开箱即用，无需额外配置。
如需其他工具或有使用问题，可在对应文章下留言，我会持续更新更多实用工具。