叶志辉个人技术

干法刻蚀工艺深度解析：从原理到FAB实战问题背景我第一次真正被干法刻蚀"教育"，是在一条八寸线的刻蚀区。那天光刻刚把图形转移下来，我拿着显影后检查合格的晶圆信心满满地送进机台，结果刻完一量关键尺寸，线...