叶志辉个人技术

CMP化学机械平坦化：让晶圆表面如镜面般的工艺问题背景我做 CMP 之前，一直觉得"平坦化"是个锦上添花的事，顶多是让表面好看点。直到第一次做铜互连（Damascene）工艺，前道刻完介质、填完铜，表...