叶志辉个人技术

离子注入工艺参数优化：用Python模拟射程分布与剂量控制问题背景我刚接触离子注入时，最大的错觉是"打进去不就完事了吗"。直到第一次做阱（well）注入，设计剂量是 5e12 atoms/cm²，结果...