叶志辉个人技术

【摘要】 本文系统梳理离子注入与扩散领域的核心问题与落地路径。做工艺整合的都知道，离子注入只是前戏，真正的重头戏在后面——退火。全文围绕「问题背景、技术原理、实战案例：源漏扩展区掺杂分布控制、效果对...