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半导体 Fab 数字化实战 | 工业软件架构优化 | 人工智能底层与 AGI 思辨
氧化工艺详解:从Deal-Grove模型到栅氧均匀性实战
叶志辉
4个月前
(07-01)
89
【摘要】 本文系统梳理工业 AI 与机器学习落地领域的核心问题与落地路径。我在晶圆厂工作了八年,氧化工艺是我接触最早、也是印象最深的工艺之一。全文围绕「问题背景:为什么氧化工艺如此重要、技术原理:深...
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