SPC在薄膜厚度监控中的应用:均匀性怎么纳入

叶志辉5天前2
SPC在薄膜厚度监控中的应用:均匀性怎么纳入
[粉丝专享] SPC在薄膜厚度监控中的应用:均匀性怎么纳入 【摘要】薄膜厚度是半导体前道制造中监控最密集的工艺参数之一,但很多Fab的SPC体系只盯着每片晶圆的平均厚度,把片内均匀性晾在一边,结果均...

[粉丝专享] run-to-run反馈的落地实践

叶志辉5天前2
[粉丝专享] run-to-run反馈的落地实践
[粉丝专享] run-to-run反馈的落地实践 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的MES/CIM系统落地类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章...

过程能力研究报告:一份能过审的模板长什么样

叶志辉5天前3
过程能力研究报告:一份能过审的模板长什么样
[粉丝专享] 过程能力研究报告:一份能过审的模板长什么样 【摘要】本文系统介绍半导体Fab场景下过程能力研究(Cpk分析)的完整方法论,从数据采集、分布检验、能力指标计算到报告撰写规范,给出一套可直接...

[粉丝专享] FAB数据ETL:从采集到入仓的完整管道

叶志辉5天前4
[粉丝专享] FAB数据ETL:从采集到入仓的完整管道
[粉丝专享] FAB数据ETL:从采集到入仓的完整管道 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的数据工具类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fa...

工程师副业的边界:竞业限制与合规红线到底在哪里

叶志辉5天前2
工程师副业的边界:竞业限制与合规红线到底在哪里
[粉丝专享] 工程师副业的边界:竞业限制与合规红线到底在哪里 【摘要】本文系统梳理半导体与制造业工程师做副业时的四层法律约束:保密义务、竞业限制、职务发明与用工冲突。给出可执行的内容脱敏五要素法、十条...

用Plotly做交互式良率图:从静态截图到钻取分析的完整落地

叶志辉5天前3
用Plotly做交互式良率图:从静态截图到钻取分析的完整落地
[粉丝专享] 用Plotly做交互式良率图:从静态截图到钻取分析的完整落地 【摘要】本文讲清如何用Plotly与Dash把良率分析从静态PNG升级为可钻取的交互看板。覆盖lot到die四层数据模型设计...

[粉丝专享] 薄膜应力控制:晶圆翘曲的成因与缓解

叶志辉5天前1
[粉丝专享] 薄膜应力控制:晶圆翘曲的成因与缓解
[粉丝专享] 薄膜应力控制:晶圆翘曲的成因与缓解 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的设备工艺类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺...

[粉丝专享] 良率数据的陷阱:抽样测试掩盖的真相

叶志辉5天前3
[粉丝专享] 良率数据的陷阱:抽样测试掩盖的真相
[粉丝专享] 良率数据的陷阱:抽样测试掩盖的真相 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的良率工程类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺...

时序异常检测:滑动窗口与统计阈值

叶志辉5天前1
时序异常检测:滑动窗口与统计阈值
[粉丝专享] 时序异常检测:滑动窗口与统计阈值 【摘要】在上深度学习之前,先把统计方法用到位。本文系统讲解滑动窗口、EWMA、MAD鲁棒阈值、CUSUM在半导体设备时序数据上的适用边界与参数选择,给出...

离子注入退火激活率:如何验证掺杂效果

叶志辉5天前3
离子注入退火激活率:如何验证掺杂效果
[粉丝专享] 离子注入退火激活率:如何验证掺杂效果 【摘要】注入剂量对了不代表掺杂效果就对。本文讲清退火激活率的物理含义、四探针方块电阻与霍尔量测的适用边界、SIMS与扩展电阻的取舍,并给出一套可落地...