[粉丝专享] FAB数据字典:为什么它是数据治理的地基 【摘要】一场月度良率会上,三个部门报出三个不同的良率数字,差异最大1.8个百分点,会议开成了口径辩论会。这不是取数能力问题,是没有数据字典。本文...
[粉丝专享] 刻蚀负载效应:图形密度对速率的影响 【摘要】同一套刻蚀配方,A产品跑出的深度是356nm,B产品却只有312nm,设备日志、气体流量、RF功率全部正常。根因不在设备,而在版图——图形密度...
[粉丝专享] SPC假报警过多?完整治理落地步骤与参数优化方案 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的SPC质量治理类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案...
[粉丝专享] Python批量处理良率数据:自动生成缺陷分析报表 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的Python自动化类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实...
[粉丝专享] 用SQL分析良率:那些必会的窗口函数 【摘要】还在把良率数据导出到Excel里手工透视?批次排名、环比变化、同批内wafer对比,这些分析在SQL里用窗口函数几行就能搞定。本文从窗口函数...
[粉丝专享] MES与EAP对接超时问题定位:SECS-GEM排坑实战 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的MES/CIM系统落地类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落...
[粉丝专享] 光刻显影缺陷:桥连/残留/塌陷的排查 【摘要】光刻后检查(ADI)缺陷率突然爬升,桥连、残留、塌陷三类缺陷轮番出现,工艺工程师最容易陷入"调了剂量调聚焦、调了聚焦调胶厚&quo...
[粉丝专享] 缺陷回顾(Defect Review):SEM图怎么读出信息 【摘要】同一张SEM图,有人说是颗粒,有人说是残留,分类定错了,工艺团队就白忙一周。本文从SEM成像原理讲起,系统拆解缺陷回...
[粉丝专享] SECS-GEM连接失败:设备通信排障四步法 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的EAP设备对接类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文...
[粉丝专享] MES接口性能优化:高并发下的稳定性保障 【摘要】Fab扩产之后,MES接口在放行高峰期的并发压力陡增,超时、连接池耗尽、队列堆积接踵而至。本文从一次真实的接口雪崩出发,讲透高并发下ME...