光刻能量剂量校准：跨机台一致性保障
[公开] 光刻能量剂量校准：跨机台一致性保障 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的设备工艺类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺工程...
半导体证书有用吗：花钱考的值不值
[公开] 半导体证书有用吗：花钱考的值不值 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的职场科普类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺工程师...
用Python做正态性检验：完整的判定流程
[公开] 用Python做正态性检验：完整的判定流程 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的数据工具类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab...
SPC与SPC-Lite：轻量化监控的取舍
[公开] SPC与SPC-Lite：轻量化监控的取舍 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的SPC过程控制类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合...
MES与WMS协同：物料齐套率的提升实践
[公开] MES与WMS协同：物料齐套率的提升实践 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的MES自动化类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fa...
FAB数字孪生+AI：虚拟量测(VM)如何减少实测
[公开] FAB数字孪生+AI：虚拟量测(VM)如何减少实测 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的半导体AI融合类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。...
FAB技术文档的价值：被低估的软实力
[公开] FAB技术文档的价值：被低估的软实力 【摘要】在Fab里，写文档常被当成不出活的表现。但真正拉开工程师差距的，往往不是谁解过更难的问题，而是谁的解法能被别人复用。本文用实际数据说明文档缺失的...
FAB KPI体系：从数据到指标的映射
[公开] FAB KPI体系：从数据到指标的映射 【摘要】同一个OEE，制造部算出来85%，设备部算出来72%，报表系统显示78%。指标打架的根源不是算法不同，而是从原始数据到指标之间的映射链路从来没...
薄膜均匀性分析器：49点数据的解读
[公开] 薄膜均匀性分析器：49点数据的解读 【摘要】49点厚度数据每天都在测，但绝大多数工程师只看一个均匀性百分比就翻页了。本文把49点数据拆成均值、径向分量、方位角分量、边缘分量和随机残差五个部分...
良率与量产爬坡曲线：学习曲线的数学建模
[公开] 良率与量产爬坡曲线：学习曲线的数学建模 【摘要】新产品导入量产后，良率爬坡到底该多快、什么时候能达到承诺值，绝大多数工厂靠拍脑袋。本文用三种学习曲线模型（指数逼近、Wright幂律、Gomp...