质量数据散落在10个系统:我建了统一质量数据平台
质量数据散落在10个系统:我建了统一质量数据平台 [Abstract] FAB的质量数据分散在MES、FDC、SPC、缺陷检测、实验室LIMS等10+个系统里。每次质量问题分析，需要人工从各系统导出数...
产能利用率只有70%:我用排程优化把利用率拉到90%
产能利用率只有70%:我用排程优化把利用率拉到90% [Abstract] 产能利用率是FAB盈利能力的核心指标。我厂长期只有70%，大量设备闲置，订单交期却经常延误。原因是排程靠人工经验，没有系统优...
OEE只有65%:我用数据驱动把设备利用率拉到85%
OEE只有65%:我用数据驱动把设备利用率拉到85% [Abstract] 设备综合效率（OEE）是FAB核心指标，我厂长期只有65%，远低于行业标杆85%。厂长要求提升，我接手后分析了6个月设备停机...
工艺窗口太窄良率不稳:我用DOE方法找到了最优参数组合
工艺窗口太窄良率不稳:我用DOE方法找到了最优参数组合 [Abstract] 新工艺导入时窗口太窄，温度偏差2度就超规，良率从92%波动到75%。PE调了一周没找到稳定点，我建议用实验设计（DOE）方...
一批晶圆报废找不到根因:我建了批次追溯系统后再没丢过数据
一批晶圆报废找不到根因:我建了批次追溯系统后再没丢过数据 [Abstract] 那次事故让我印象深刻。客户投诉某批次产品良率偏低，要求提供完整工艺历史数据追溯。我翻遍了MES、FDC、设备日志，发现关...
[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响
![[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260811225212178645993272478.png)
[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响 【摘要】同一套刻蚀配方，A产品跑出的深度是356nm，B产品却只有312nm，设备日志、气体流量、RF功率全部正常。根因不在设备，而在版图——图形密度...
[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响
![[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813004131178655289121194.png)
[粉丝专享] 刻蚀负载效应：图形密度对速率的影响 分类：设备工艺 | 发布：2026-08-11 4号槽位 一、痛点：同样的recipe，为什么不同wafer的刻蚀速率差30%？ 刻蚀工艺最经典的难...
SPC控制限设错了：误报还是漏报的根本原因
[粉丝专享] SPC控制限设错了：误报还是漏报的根本原因 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 2号槽位 一、痛点：SPC控制限设错了，报警要么"全是误报"要么&...
SPC控制限的本质：为什么规格限不是控制限
[粉丝专享] SPC控制限的本质：为什么规格限不是控制限 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 2号槽位 一、痛点：把客户规格当报警限，SPC天天红、却没人信 去年我们接了一个封装客...
计数型SPC选错图型：p图还是u图，一线工程师的选图决策树
[粉丝专享] 计数型SPC选错图型：p图还是u图，一线工程师的选图决策树 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 1号槽位 一、痛点：一张选错的图型，让工程师白干三个月 去年上半年我在...