光刻焦距窗口（DOF）：工艺窗口的多因子分析
光刻焦距窗口（DOF）：工艺窗口的多因子分析 光刻焦深（DOF）与NA/波长/光刻胶厚度的关系，焦距窗口的DOE优化与良率影响 ────────────────────────────────────...
Python实现帕累托分析：80/20法则落地
[公开] Python实现帕累托分析：80/20法则落地 【摘要】帕累托分析人人会画，但在Fab里做出能指导决策的帕累托图并不容易：口径不统一、权重选错、分层缺失，都会把改善资源引向错误方向。本文给出...
CMP浆料管理：颗粒团聚导致的划伤
[公开] CMP浆料管理：颗粒团聚导致的划伤 【摘要】CMP工序的划伤缺陷有相当比例并非来自研磨垫或修整盘，而是浆料在储运、稀释、输送环节发生颗粒团聚造成的。本文完整记录一次氧化层CMP划伤攻关：从大...
良率提升项目管理：从立项到收尾的方法论
[公开] 良率提升项目管理：从立项到收尾的方法论 【摘要】良率提升项目失败的原因往往不是技术不行，而是项目管理失控：目标模糊、基线不准、实验设计随意、结论无法固化。本文给出一套完整的六阶段项目管理方法...
数字孪生工厂：从概念到FAB落地的距离
数字孪生工厂：从概念到FAB落地的距离 半导体数字孪生工厂的技术架构、实时数据同步难点与产线落地案例，含虚实映射分层 PPT里的数字孪生工厂很炫，但真正的FAB里连实时数据同步都还没搞定——差距在哪里...
FAB数据脱敏：公开分享数据的安全底线
[公开] FAB数据脱敏：公开分享数据的安全底线 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的数据工具类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺...
薄膜沉积速率监控：SPC纳入的实战
[公开] 薄膜沉积速率监控：SPC纳入的实战 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的设备工艺类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺工程...
缺陷密度地图：跨批次叠加找出固定位置缺陷
[公开] 缺陷密度地图：跨批次叠加找出固定位置缺陷 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的良率工程类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工...
Python实现CPK批量计算：多参数一键出报告
Python实现CPK批量计算：多参数一键出报告 用Python批量计算几十个工艺参数的Cp/Cpk/Pp/Ppk，自动判定能力等级并生成Word报告 【开篇】每个月要算200个参数的CPK，手动算到...
派工规则引擎：如何把老师傅的经验代码化
[公开] 派工规则引擎：如何把老师傅的经验代码化 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的MES自动化类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab...