Python处理SECS消息：解析二进制的技巧
[公开] Python处理SECS消息：解析二进制的技巧 【摘要】SECS-II是嵌套的二进制格式，一条S6F11报文可能有上千个数据项。用错解析方式，一台设备的日志就能把CPU吃满。本文从HSMS报...
外延生长(Epi)工艺：缺陷密度的控制要点
[公开] 外延生长(Epi)工艺：缺陷密度的控制要点 【摘要】外延层是器件的地基，地基上的一个层错就可能毁掉一颗芯片。本文系统拆解Epi工艺的六类典型缺陷及其物理成因，给出预清洗、氢气烘烤、基座管理、...
晶圆分选(Sort)数据分析：Die Map的价值挖掘
[公开] 晶圆分选(Sort)数据分析：Die Map的价值挖掘 【摘要】大多数Fab把Die Map当成一张「哪些Die坏了」的图，实际上它是一份记录了整条工艺链信息的空间指纹。本文系统拆解Die...
MES实施里程碑：一张图看清项目风险曲线
[公开] MES实施里程碑：一张图看清项目风险曲线 【摘要】MES项目延期是行业常态，但延期从来不是最后一个月才发生的，风险在需求冻结那一刻就已经埋下。本文把14个月的MES实施拆成十个里程碑，给出每...
过程漂移的早期信号：均值和方差谁先动
[公开] 过程漂移的早期信号：均值和方差谁先动 【摘要】同样是过程劣化，有的先表现为方差扩大，有的先表现为均值偏移。用错了监控图，就会晚发现几十个批次。本文用ARL理论量化不同控制图对不同漂移模式的检...
知识图谱+LLM诊断工艺偏移：因果链可视化实践
[公开] 知识图谱+LLM诊断工艺偏移：因果链可视化实践 【摘要】一次CD偏移排查，八名工程师查了三天，最后发现根因是四周前的一次备件更换。问题不在数据不够，而在数据之间的关系没有被建模。本文给出知识...