叶志辉个人技术

一句话分工 SPC 管「产品结果稳不稳」，FDC 管「设备过程偏没偏」。SPC 看的是测出来的结果（CD、膜厚、缺陷数、良率），FDC 看的是产生结果的过程参数（功率、压力、温度、气流）。两者不是二...