设备日常点检表 Excel模板｜17项三段式 自动汇总可打印
为什么需要一张好用的点检表
设备管理最怕的不是故障，而是故障前其实有信号，但没人记录。很多车间的点检现状是：纸质表勾完就收、数据没人看、NG 口头交接就丢。等设备趴窝了，回看点检记录才发现「干泵油位低」其实已经写了一个星期。
这套《设备日常点检表》把点检做成一张能自动说话的表：
模板结构（17 项 · 三段式）
- 开机前检查（6 项）：气路压力、冷却水、真空泵、腔体状态、RF 匹配器、MFC 校零——每项都写了量化的判定标准（如 Cl2 压力 0.4~0.6 MPa）。
- 运行状态检查（6 项）：工艺参数一致性、腔压波动、Alarm 记录、Wafer 传送、Endpoint、当班良率对比。
- 安全与环境（5 项）：尾气处理、静电接地、化学品泄漏、急停装置、5S。
自动化设计
- 判定列下拉选择 OK / NG / N.A.，自动着色，不用手动标色；
- 底部汇总区自动统计：点检项数、OK 数、NG 数、NG 占比、点检结论自动生成（有 NG 自动提示「发现异常，需跟进处理」）；
- NG 项强制要求填写异常描述与处理措施，闭环有痕。
使用方法
- 下载后在「①设备日常点检表」把示例数据替换为本厂设备点检项（三段分组可增删）；
- 每班开机前逐项判定，D 列下拉选择即可；
- 下班前确认底部汇总，NG 项当日闭环；
- 打印签字归档（PDF 打印版已排好 A4 版式，直接打印）。
FAQ
Q1：点检项能改成我们厂的设备吗？ A：可以，三段分组与判定标准全部可编辑，汇总公式不受影响。
Q2：支持几个班次？ A：白班/夜班各保存一份文件即可，表头有班次栏；也可以复制工作表按班次归档。
Q3：月底想统计异常趋势怎么办？ A：电子版每周汇总一次发设备工程师，NG 占比按周对比即可看到趋势；如需自动月报可配合我站的良率分析工具。
Q4：Excel 什么版本能用？ A：Excel 2016 及以上、WPS 表格均可，无宏无插件。
相关工具
- 制程巡检记录表 IPQC（同系列的制程品质版）
- 首件检验记录表 FAI（换批/换料必配）
- 设备 OEE 停机损失分析（点检数据往上做效率分析）
