[公开] 知识图谱+LLM诊断工艺偏移：因果链可视化实践
![[公开] 知识图谱+LLM诊断工艺偏移：因果链可视化实践](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003458178655249887527.png)
[公开] 知识图谱+LLM诊断工艺偏移：因果链可视化实践 【摘要】一次CD偏移排查，八名工程师查了三天，最后发现根因是四周前的一次备件更换。问题不在数据不够，而在数据之间的关系没有被建模。本文给出知识...
刻蚀关键尺寸(CD)控制：线宽偏差的根因
刻蚀关键尺寸(CD)控制：线宽偏差的根因 刻蚀工艺CD漂移的根因分析，含过刻蚀/负载效应/温度/功率影响与先进制程控制策略 【分类】设备工艺 【关键词】刻蚀 CD 控制 · 负载效应 · 过刻蚀...
刻蚀负载效应：腔体补偿让片内均匀性从正负5%到正负2%
[粉丝专享] 刻蚀负载效应：腔体补偿让片内均匀性从正负5%到正负2% 分类：设备工艺 | 发布：2026-08-11 4号槽位 一、痛点：同一片晶圆，中间刻得快、边缘刻得慢 我们有一条氧化物刻蚀线，...
[粉丝专享] SPC控制限设错了：误报还是漏报的根本原因
![[粉丝专享] SPC控制限设错了：误报还是漏报的根本原因](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003503178655250320560.png)
[粉丝专享] SPC控制限设错了：误报还是漏报的根本原因 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 2号槽位 一、痛点：SPC控制限设错了，报警要么"全是误报"要么&...
[公开] 良率数据异常波动：先用SPC还是先查设备
![[公开] 良率数据异常波动：先用SPC还是先查设备](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003504178655250426502.png)
[公开] 良率数据异常波动：先用SPC还是先查设备 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的SPC质量治理类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文章适合F...
[粉丝专享] SPC控制限的本质：为什么规格限不是控制限
![[粉丝专享] SPC控制限的本质：为什么规格限不是控制限](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003506178655250657824.png)
[粉丝专享] SPC控制限的本质：为什么规格限不是控制限 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 2号槽位 一、痛点：把客户规格当报警限，SPC天天红、却没人信 去年我们接了一个封装客...
[粉丝专享] 计数型SPC选错图型：p图还是u图，一线工程师的选图决策树
![[粉丝专享] 计数型SPC选错图型：p图还是u图，一线工程师的选图决策树](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003508178655250899898.png)
[粉丝专享] 计数型SPC选错图型：p图还是u图，一线工程师的选图决策树 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 1号槽位 一、痛点：一张选错的图型，让工程师白干三个月 去年上半年我在...
[粉丝专享] 计数型SPC：p图u图选错，分析结论全错
![[粉丝专享] 计数型SPC：p图u图选错，分析结论全错](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003510178655251098448.png)
[粉丝专享] 计数型SPC：p图u图选错，分析结论全错 分类：SPC过程控制 | 发布：2026-08-11 1号槽位 一、痛点：p图u图选错，分析结论全错 计数型SPC和计量型SPC的核心区别是什...
[公开] SPC控制限设置过宽过窄：新人致命错误与正确做法
[公开] SPC控制限设置过宽过窄：新人致命错误与正确做法 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的SPC质量治理类问题，从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验，给出可直接落地复用的实战方案。文...
[粉丝专享] Fab工程师的效率工具：让信息主动找你
![[粉丝专享] Fab工程师的效率工具：让信息主动找你](https://www.yezhihui.cn/zb_users/upload/2026/08/20260813003513178655251333580.png)
[粉丝专享] Fab工程师的效率工具：让信息主动找你 分类：MES自动化 | 发布：2026-08-11 3号槽位 一、痛点：工程师的时间浪费在"找东西"上 Fab工程师每天有多...