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晶圆边缘排除区良率分析器|SPC实战工具

这个工具解决什么问题

良率报告必须声明「边缘排除尺寸 EE」——同一个批次,EE=0mm 报 78%、EE=3mm 可能报 88%, 差 10 个点全在边缘。不同 EE 下的良率本来就没法比。 本工具解决两件事:① 量化边缘对良率的贡献,给出不同 EE 下的良率曲线与「被排除环带良率」; ② 按径向分段给出各环带良率,直接指向是哪一圈出的问题。

输入数据格式

数据文件 edge_exclusion.csv,列顺序为:ee_mm、die_count、die_per_wafer、yield_pct、good_die_total、good_die_per_wafer。

示例首行:0,33735,11245.0,90.4609,30517,10172.333

示例输出(真实运行结果节选)

====================================================================================
晶圆边缘排除区(EE)良率影响分析报告
晶圆数:3   半径:150 mm   die 步距:2.5 mm   die 总数:33735   平均每片 11245 die
====================================================================================

【一、不同 EE 下的良率与良品数(核心表)】
  EE(mm)       die数       平均/片         良率       良品(平均/片)         良率变化        本档被排除环带良率
       0      33735    11245.0     90.46%       10172.33            -                -
       1      33495    11165.0     90.85%       10143.33     +0.39 pt           36.25%
       2      33027    11009.0     91.55%       10079.00     +0.70 pt           41.24%
       3      32559    10853.0     92.21%       10007.67     +0.66 pt           45.73%
       4      32151    10717.0     92.73%        9938.33     +0.52 pt           50.98%
       5      31671    10557.0     93.29%        9849.00     +0.56 pt           55.83%
       6      31287    10429.0     93.74%        9776.00     +0.45 pt           57.03%
       7      30783    10261.0     94.27%        9673.33     +0.53 pt           61.11%
       8      30387    10129.0     9

晶圆边缘排除区(EE)良率影响分析器

> 半导体良率工程师 Python 实战工具 · 核心功能零第三方依赖

文件内容

· edge_exclusion_analyzer.py:主程序(Python 3.8+,零第三方依赖) · wafer_edge.csv:示例 wafer map(3 片、约 3.4 万个 die,径向良率剖面含边缘劣化) · edge_exclusion_report.txt / edge_exclusion.csv:中文报告与 EE 曲线数据(可直接绘图) · 附赠提示词.txt:同主题 AI 提示词 1 套

运行方法

python edge_exclusion_analyzer.py python edge_exclusion_analyzer.py 我的数据.csv

输入数据格式

wafer_edge.csv:wafer_id, die_x, die_y, bin · die_x / die_y 为以晶圆中心为原点的 die 序号(工具按 DIE_PITCH_MM 换算成 mm) · bin = 1 判定为良品,其它值判定为不良

输出说明

1. 不同 EE 下的良率与良品数(核心表):EE 从 0 到 20mm,每档的 die 数、良率、 良品数(平均/片)、良率变化,以及「本档被排除环带良率」 2. 边缘损失量化:EE=1/2/3/5mm 各能提升多少良率、占总不良的比例 3. 径向环带良率:中心/内环/中环/外环/边缘 五段的良率与相对中心差 4. 结论与行动建议:边缘问题严重度判定、立项前三件事、EE 口径说明、EE 取多大的权衡

可调参数(文件顶部)

· WAFER_R_MM:晶圆半径(默认 150) · DIE_PITCH_MM:die 步距(默认 2.5) · EE_LIST:要分析的 EE 档位列表 · BANDS:径向环带划分

结果怎么读

· 「本档被排除环带良率」是最关键一列:这一列越低,说明排除该环带越划算 (牺牲的良品少,换来报表良率明显提升)。若接近 0%,说明该环带基本全灭,排除它不损失任何良品 · 边缘损失若集中在某一环带(如 90%~100% 只有 60% 良率),是典型的边缘工艺问题,建议立项 · 关于 EE 取多大:数学上 EE 越大报表良率越高,但每片良品数一定减少(除非该环带良率为 0)。 实务上 EE 主要由搬运破损风险、测试/量测能否覆盖边缘 die、边缘 die 是否完整 decide, 不能只看良率数字

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:DATA_CSV=os.path.join(BASE, "wafer_edge.csv")、OUT_CSV=os.path.join(BASE, "edge_exclusion.csv")。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

会生成哪些文件

运行后除控制台输出外,还会生成:wafer_edge.csv、edge_exclusion_report.txt、edge_exclusion.csv。

脚本里的主要处理步骤

  • gen_demo():生成示例 wafer map:中心/内环良率正常,越靠边缘良率越低,另含少量随机不良。

以上步骤在脚本中是分开的函数,可以单独调用或按需替换其中一段,不必整体重写。

工具中出现的字段与提示

  • 良率好看、产量下降
  • 中心 0~25%
  • 内环 25~50%
  • 中环 50~75%
  • 外环 75~90%
  • 边缘 90~100%
  • 生成示例 wafer map:中心/内环良率正常,越靠边缘良率越低,另含少量随机不良。
  • 未提供数据文件,已生成示例数据:%s(%d 片 / %d 个 die)
  • 晶圆边缘排除区(EE)良率影响分析报告
  • 【一、不同 EE 下的良率与良品数(核心表)】
  • die数
  • 平均/片
  • 良品(平均/片)
  • 良率变化
  • 本档被排除环带良率
  • 读法:最后一列是「从上一档放宽到本档时,被排除掉的那一圈 die 的良率」。
  • 这一列越低,说明排除它越「划算」——牺牲的良品少,换来报表良率明显提升。
  • 若这一列接近 0%,说明该环带基本全灭,排除它不损失任何良品(纯赚)。

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档,以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:edge_exclusion_analyzer.py。

下载 晶圆边缘排除区良率分析器 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

输入数据要准备成什么样?
按 示例首行中的列顺序准备即可,共 6 列:ee_mm、die_count、die_per_wafer、yield_pct、good_die_total、good_die_per_wafer。列为空或格式不符时结果会失真,建议先用示例数据试跑一遍。

跑完最该关注哪几项?
报告按 一、不同 EE 下的良率与良品数(核心表)、二、边缘损失量化、三、径向环带良率(定位是哪一圈出的问题)、四、结论与行动建议 等部分组织,其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

附赠的提示词怎么用?
把提示词与自己的数据一起交给大模型,可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。

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分类归属:SPC与质量分析工具包;完整清单在 工具资源包下载页。

标签: 14119

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