化学机械研磨CMP:终点检测与碟形效应控制

叶志辉5天前1
化学机械研磨CMP:终点检测与碟形效应控制
[粉丝专享] 化学机械研磨CMP:终点检测与碟形效应控制 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的设备工艺类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合F...

Ppk与Cpk的关系:短期与长期过程能力对比

叶志辉5天前4
Ppk与Cpk的关系:短期与长期过程能力对比
[粉丝专享] Ppk与Cpk的关系:短期与长期过程能力对比 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的SPC过程控制类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文...

[粉丝专享] 批次良率趋势追踪:缓慢下滑最难被发现

叶志辉5天前1
[粉丝专享] 批次良率趋势追踪:缓慢下滑最难被发现
[粉丝专享] 批次良率趋势追踪:缓慢下滑最难被发现 【摘要】良率突然掉五个点,全厂都会在两小时内知道;良率每周掉零点一个点,半年过去可能没人察觉。本文讲清缓慢漂移为什么会绕过常规Shewhart控制图...

MES与MDC集成:设备实时状态监控全链路

叶志辉5天前4
MES与MDC集成:设备实时状态监控全链路
[粉丝专享] MES与MDC集成:设备实时状态监控全链路 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的MES自动化类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适...

向量数据库实战:FAB历史工艺数据相似检索

叶志辉5天前5
向量数据库实战:FAB历史工艺数据相似检索
[粉丝专享] 向量数据库实战:FAB历史工艺数据相似检索 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的半导体AI融合类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章...

[粉丝专享] 设备状态模型(E10):Up/Down时间的正确归类

叶志辉5天前5
[粉丝专享] 设备状态模型(E10):Up/Down时间的正确归类
[粉丝专享] 设备状态模型(E10):Up/Down时间的正确归类 【摘要】SEMI E10定义的六大设备状态是Fab所有稼动率指标的地基,但绝大多数工厂在落地时都把等料、换靶材、Qual验证这几类时...

PVD溅射工艺:靶材利用率与膜厚均匀性

叶志辉5天前2
PVD溅射工艺:靶材利用率与膜厚均匀性
[公开] PVD溅射工艺:靶材利用率与膜厚均匀性 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的设备工艺类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab工艺...

KLA检测数据挖掘:致命缺陷与随机缺陷分离

叶志辉5天前3
KLA检测数据挖掘:致命缺陷与随机缺陷分离
[公开] KLA检测数据挖掘:致命缺陷与随机缺陷分离 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的良率工程类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fab...

FAB工程师谈人脉:怎么积累有价值的行业关系

叶志辉5天前1
FAB工程师谈人脉:怎么积累有价值的行业关系
[公开] FAB工程师谈人脉:怎么积累有价值的行业关系 【摘要】本文针对半导体Fab生产中常见的职场科普类问题,从问题背景、原因定位、完整解决步骤到避坑经验,给出可直接落地复用的实战方案。文章适合Fa...

[粉丝专享] 计数型SPC(p图/u图):缺陷率监控的正确姿势

叶志辉5天前2
[粉丝专享] 计数型SPC(p图/u图):缺陷率监控的正确姿势
[粉丝专享] 计数型SPC(p图/u图):缺陷率监控的正确姿势 【摘要】大部分工程师熟悉的Xbar-R图属于计量型SPC,遇到缺陷数、不良率这类计数型数据时套用就会出错。本文讲清p图、np图、c图、u...