四探针方块电阻计算器｜工艺参数分析工具
这个工具解决什么问题
这类分析宁可保守也不要假精度：数据不足时明确不外推。
四探针法测方块电阻是离子注入/外延/薄膜工序最常用的电性监控。本工具把 Rs = (π/ln2)·(V/I) 换算、温度归一（TCR）、径向分层均匀性统计与体积 电阻率换算一次做完，并在假设不成立时明确提示而不是硬算。
· 各人各算：有人用原始 V/I，有人补了温度，两台机台数据对不上； · 只知道平均值，看不出「边缘偏高」这类径向不均； · 把注入层按总厚度换算 ρ，浓度结论系统性偏低。
输入数据格式
数据文件 four_point_results.csv，列顺序为：point、current_mA、voltage_uV、temp_c、Rs_ohm_sq、Rs23_ohm_sq、rho_ohm_cm。
示例首行：C1,10.00,10000.0,22.8,4.5324,4.5334,0.0002267
脚本顶部常量 SPACING_MM（探针间距）、WAFER_MM（片径）、THICK_UM（薄层厚度）、 TCR_PPM（温度系数）按现场参数修改。
示例输出（真实运行结果节选）
四探针方块电阻分析报告
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【一、口径与假设】
公式：Rs=(π/ln2)·(V/I)，薄层厚度 0.50μm、探针间距 1.0mm、片径 200mm
假设：t << s 且 d > 40s → 几何修正≈1（本例 t/s=0.00、d/s=200）
假设核验：满足，几何修正按 1.000 处理
温度归一：TCR=1200 ppm/K → 23.0℃
【二、逐点结果】
测点 I(mA) V(uV) Rs(Ω/□) Rs@23℃ ρ(Ω·cm)
C1 10.00 10000.0 4.532 4.533 0.000227
C2 10.00 10080.0 4.569 4.570 0.000228
R251 10.00 10150.0 4.600 4.601 0.000230
R252 10.00 10231.2 4.637 4.638 0.000232
R501 10.00 10420.0 4.723 4.724 0.000236
R502 10.00 10503.4 4.761 4.762 0.000238
R751 10.00 10880.0 4.931 4.932 0.000247
R752 10.00 10967.0 4.971 4.972 0.000249
EDGE1 10.00 11300.0 5.122 5.123 0.000256
EDGE2 10.00 11390.4 5.163 5.164 0.000258
【三、均匀性统计】
点数 10；均值 4.802 Ω/□；σ=0.231；CV=4.81%
径向分布（各位置均值，中心→边缘）：
C 4.552 Ω/□（偏离均值 -5.21%）
R 4.772 Ω/□（偏离均值 -0
· four_point_report.txt：口径与假设核验、逐点 Rs/Rs@23℃/ρ、均匀性统计、 径向分布、结论与建议 · four_point_results.csv：逐点换算结果
运行方法
python four_point_probe.py # 示例数据（中心到边缘 5 点 ×2 次） python four_point_probe.py 我的.csv
注意事项
几何修正按 t≪s 且 d>40s 取 1（薄圆片常规口径）；若不满足会打 ⚠ 提示， 此时需按 ASTM F84 补修正系数。批量比对前务必先归温：TCR=1200ppm/K 时 每差 1℃ 结果差约 0.12%，这是两台机台对不上的头号原因。
会生成哪些文件
运行后除控制台输出外，还会生成：sheet_res_points.csv、four_point_report.txt、four_point_results.csv。
工具中出现的字段与提示
- 四探针方块电阻分析报告
- 【一、口径与假设】
- 假设核验：%s
- 不满足，结果需按 ASTM F84 补修正系数后使用 ⚠
- 满足，几何修正按 1.000 处理
- 温度归一：TCR=%.0f ppm/K → %.1f℃
- 【二、逐点结果】
- 【三、均匀性统计】
- 点数 %d；均值 %.3f Ω/□；σ=%.3f；CV=%.2f%%
- 径向分布（各位置均值，中心→边缘）：
- %-6s %.3f Ω/□（偏离均值 %+.2f%%）
- 【四、结论与建议】
- 1) CV=%.2f%% ≤2%%，均匀性达标，可作为该工序放行依据。
- 1) CV=%.2f%% 超出 2%% 内控线。
- 边缘偏高 %+.1f%%，典型径向不均：优先查注入扫描间距/边缘剂量
- 与边缘环（edge ring）工艺，而不是先怀疑量测。
- 偏差不集中在径向：查逐点复测重现性与探针压力一致。
- 这是两台机台数据对不上的头号原因。
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档，以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：four_point_probe.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
输入数据要准备成什么样？
按 示例首行中的列顺序准备即可，共 7 列：point、current_mA、voltage_uV、temp_c、Rs_ohm_sq、Rs23_ohm_sq、rho_ohm_cm。列为空或格式不符时结果会失真，建议先用示例数据试跑一遍。
跑完最该关注哪几项？
报告按 一、口径与假设、二、逐点结果、三、均匀性统计、四、结论与建议 等部分组织，其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。
附赠的提示词怎么用？
把提示词与自己的数据一起交给大模型，可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
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