数据质量治理｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题
半导体FAB WAT(晶圆接受测试)数据质量自动化检查工具。 内置50行含脏数据的FAB工艺参数表，自动检测缺失值、范围越界、 格式错误、重复行等质量问题，在表格中以红色单元格高亮标记， 并输出逐条清洗建议。支持导出检测报告和清洗后CSV文件。
数据质量治理检查器 v1.0 ==========================
功能特性
1. 数据表预览：表格形式展示所有字段，红色高亮问题单元格 2. 四类问题检测： · CRITICAL: lot_id/lot_name缺失、晶圆号越界等严重问题 · ERROR: 膜厚/温度/剂量等工艺参数越界 · WARNING: 重复行、缺陷数轻微越界 3. 质量评分：综合加权评分(0-100分) 4. 逐条清洗建议：每条问题附带具体修复方法 5. 导出检测报告：.txt格式完整问题清单 6. 导出清洗后数据：.csv格式，标记问题值为空
内置数据规模
· 50行 x 13列 FAB WAT实测参数表 · 约40%行含脏数据，含真实脏数据类型 · 字段：lot_id, wafer_no, thickness_A/B, temperature_C, dose_1, resistivity, vth, defect_count, yield_pct, equipment, operator, process_date
内置检测规则
· lot_id: 格式 r"^[A-Z]{2}\d{4}\.\d{2}$" · wafer_no: 范围 1-25 · thickness_A: 范围 800-1200 Angstrom · thickness_B: 范围 2500-3500 Angstrom · temperature_C: 范围 900-1150 摄氏度 · dose_1: 范围 1E14-1E17 atoms/cm2 · resistivity: 范围 1-500 ohm/sq · vth: 范围 0.3-1.5V · defect_count: 范围 0-50 · yield_pct: 范围 80-100%
运行方式
双击运行 数据质量检查器.py
适用场景
· 新批次WAT数据入库前质量审核 · 历史数据清洗准备 · MES数据上传前验证 · 工程师数据质量培训演示
可调参数与计算口径
脚本顶部集中了主要阈值与常量：FONT_BOLD=("SimHei", 10, "bold")、FONT_LARGE=("SimHei", 12, "bold")、FONT_MONO=("Consolas", 9)、FONT_SMALL=("SimHei", 8)、RULES={。改完直接重跑即可，不必改动计算逻辑。
脚本里的主要处理步骤
脚本内部按固定列组织数据：lot_id、wafer_no、thickness_A、thickness_B、temperature_C、dose_1、resistivity、vth、defect_count、yield_pct、equipment、operator。
工具中出现的字段与提示
- 批次号格式应为: 2位大写字母+4位数字+.+2位数字 (如 WA2201.01)
- 晶圆编号应为1-25的整数
- 氧化层膜厚应为800-1200 Angstrom
- 氮化硅膜厚应为2500-3500 Angstrom
- 工艺温度应在900-1150摄氏度
- 离子注入剂量应在1E14-1E17 atoms/cm2范围
- 方块电阻应在1-500 ohm/sq范围
- 阈值电压应在0.3-1.5V范围
- 缺陷数应在0-50范围
- 良率应在80-100%范围
- 格式错误
- 批次号格式错误
- 批次号不能为空
- 范围越界
- 晶圆号应为1-25,当前值{row[
- 晶圆号应为整数
- 氧化层膜厚应在800-1200 A
- 氮化硅膜厚应在2500-3500 A
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：数据质量检查器.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
阈值可以改成我们自己的标准吗？
可以，脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明，按自己产线的标准修改后重跑即可，不需要改计算逻辑。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
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本工具归在 SPC与质量分析工具包，全部工具见 工具资源包下载页。
