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IMR单值移动极差控制图|SPC实战工具

这个工具解决什么问题

单值-移动极差控制图 (I-MR Chart) 用于监控连续型单点测量数据, 不要求分组,适合FAB中无法分组或每次只有1个读数的场景。

I-MR 单值移动极差控制图 - FAB工程师工具 ======================================

适用场景

· EFEM 机械手温度连续监测 · 炉管批次间温度漂移检测 · 晶圆进场单点膜厚测量 · 设备开机稳定后单次读数监控 · 化学品供应系统压力监测

内置数据

内置 40 点 EFEM 温度数据(单位:°C) 第 22-25 点有升温漂移(模拟设备预热不均或热电偶偏移), 内置数据可演示 I-MR 图检测漂移的能力。

核心公式

1. 移动极差: MRi = |Xi - X(i-1)| (i=2,3,...,n)

2. I 图 (单值控制图): X̄ = ΣXi / n σ̂ = MR̄ / d2 (d2=1.128, n=2时的常数) UCL_I = X̄ + 3*σ̂ CL_I = X̄ LCL_I = X̄ - 3*σ̂

3. MR 图 (移动极差控制图): MR̄ = ΣMRi / (n-1) UCL_MR = D4 * MR̄ (D4=3.267, n=2) CL_MR = MR̄ LCL_MR = 0

4. 越界判定: I: Xi > UCL_I 或 Xi < LCL_I MR: MRi > UCL_MR

I-MR vs Xbar-R 选用指南

每次只能取1个读数 → I-MR 每次能取多个读数 → Xbar-R (效率更高) 测量成本高/破坏性测量 → I-MR 测量稳定、可重复 → Xbar-R

使用说明

1. 运行 python imr_chart.py 启动工具 2. 选择内置数据或手动输入序列 3. 点击 [计算并绘图] 4. 观察 I 图检测均值漂移 5. 观察 MR 图检测突发波动 6. 记录越界点位置,分析异常原因

依赖

Python 3.8+ numpy matplotlib tkinter (Python标准库)

作者

FAB Engineering Team

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:FONT_NAME="SimHei"、FONT_NAME=safe_font()。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

脚本里的主要处理步骤

  • parse_comma_sep():解析逗号/空格分隔的纯数字序列
  • calc_imr():I-MR 控制图计算

以上步骤在脚本中是分开的函数,可以单独调用或按需替换其中一段,不必整体重写。

工具中出现的字段与提示

  • 解析逗号/空格分隔的纯数字序列
  • I-MR 单值移动极差控制图 - FAB工程师工具
  • I-MR 单值移动极差控制图
  • EFEM / 炉管温度 / 连续单点测量监控
  • 数据输入模式
  • 使用内置 40 点示例数据 (EFEM 温度监测)
  • 手动输入数据序列
  • 单值序列 (逗号/空格分隔, >=5个):
  • 分析选项
  • Sigma 估计方法:
  • MR̄/d2 (推荐)
  • 在 I 图上叠加 MR 趋势线
  • [ 计算并绘图 ]
  • [ 重置 ]
  • 控制限计算结果
  • I-MR 控制图
  • [ 提示 ] 点击 [计算并绘图] 使用内置 40 点 EFEM 温度数据\n
  • 数据: EFEM 机械手温度监测 (°C),第22-25点有升温漂移

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:imr_chart.py。

下载 IMR单值移动极差控制图 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

示例数据能直接跑吗?
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内,解压后直接运行即可看到完整输出,确认无误再替换成自己的台账。

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