SPC异常自动告警｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题
半导体FAB统计过程控制(SPC)实时监控工具。 内置10种常用工艺参数(膜厚/CD/剂量/电阻/WAT等)的SPC规则检测引擎， 实时检测越界、趋势漂移、连续偏移等6类异常，并弹出告警列表。 支持启停实时数据流模拟，适合工程师值班监控展示。
SPC异常自动告警系统 v1.0 ==========================
功能特性
1. SPC控制图：实时绘制X-bar图，含USL/LSL/TARGET/UCL/LCL控制线 2. 6种SPC告警规则： · 单点超出USL/LSL规格限 · 连续3点中2点超出2sigma · 连续5点单调递增/递减趋势 · 连续8点偏向中心线同一侧 · 单点超出3sigma控制限 · 连续6点趋势性漂移 3. 实时告警列表：分级显示(CRITICAL/WARNING)，带时间戳 4. 监控启停：模拟持续数据流注入，支持随时启停 5. Cpk实时计算：底部状态栏显示工艺能力指数 6. 10种内置监控参数：膜厚(Oxide/SiN)、CD栅极长度、注入剂量、 方块电阻、接触孔电阻、WAT_Vth、WAT_Idlin、台阶覆盖率、CMP研磨速率
内置异常演示数据
· 膜厚(Oxide)：最后3点呈上升趋势，接近USL · CD栅极长度：最后1点超出USL上限 · 方块电阻Rs：连续8点偏低于目标值 · WAT_Vth_NMOS：最后1点低于LSL下限
运行方式
双击运行 SPC告警系统.py
适用场景
· 工艺工程师值班SPC监控 · 新设备跑片稳定性验证 · 客户审核SPC报告演示 · 异常批次追踪分析
注意事项
· 仅使用标准库 tkinter + numpy + matplotlib · 深色主题适合FAB无尘室环境查看 · 实时监控频率3秒/次，可调整代码中的sleep参数
可调参数与计算口径
脚本顶部集中了主要阈值与常量：FONT_BOLD=("SimHei", 10, "bold")、FONT_LARGE=("SimHei", 12, "bold")、SPC_ITEMS={。改完直接重跑即可，不必改动计算逻辑。
脚本里的主要处理步骤
check_spc_rules()：检测SPC异常规则，返回异常列表
以上步骤在脚本中是分开的函数，可以单独调用或按需替换其中一段，不必整体重写。
工具中出现的字段与提示
- 膜厚(Oxide)
- 膜厚(SiN)
- CD栅极长度
- 注入剂量
- 方块电阻Rs
- 接触孔电阻
- 台阶覆盖率
- CMP研磨速率
- 检测SPC异常规则，返回异常列表
- 超出USL上限 {vals[-1]:.4g}>{usl:.4g}
- 超出LSL下限 {vals[-1]:.4g}<{lsl:.4g}
- 连续3点中2点超出2sigma范围
- 连续5点单调递增趋势
- 连续5点单调递减趋势
- 连续{len(side)}点偏向中心线同一侧
- 超出3sigma控制限
- 连续6点趋势性漂移
- SPC异常自动告警系统 v1.0
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：SPC告警系统.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
阈值可以改成我们自己的标准吗？
可以，脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明，按自己产线的标准修改后重跑即可，不需要改计算逻辑。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
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