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术语换算查询|工程效率工具

这个工具解决什么问题

把重复劳动交出去,人的注意力才能放在判断上。

半导体FAB常用单位换算与术语速查桌面工具。 内置8大类单位换算(厚度/剂量/面积/电阻率/能量/温度/时间/真空度) 和6大模块术语表(基本术语/工艺设备/参数量测/良率质量/注入掺杂/金属化互联), 总计超过100条专业术语解释,支持中英文对照和关键词搜索。

半导体术语换算查询器 v1.0 ==========================

功能特性

1. 8类单位换算(支持双向实时换算): · 厚度: nm/um/mm/A/Angstrom/inch 全面互通 · 剂量: atoms/cm2 与科学计数法互转 · 面积: 6/8/12寸晶圆面积计算 · 电阻率: ohm-cm / mohm-cm / ohm/sq · 能量: KeV/MeV/eV/J/erg · 温度: C/F/K 三种温标互转 · 时间: s/ms/us/ns/min/h · 真空度: Pa/mTorr/Torr/atm/bar/psi 2. 常用对照表:每类换算附FAB典型参数对照参考 3. 6大模块术语表(超过100条): · FAB基本术语(Wafer/Lot/Die/CD/Yield等) · 工艺设备(CVD/PVD/Etch/Implant/CMP等) · 参数与量测(Thickness/Rs/Vth/Uniformity等) · 良率与质量(D0/Particle/Void/Delamination等) · 注入与掺杂(B/P/As/Sb/Dose/Energy/Rp等) · 金属化与互联(Al/Cu/W/TiN/Via/Damascene等) 4. 术语关键词搜索:输入即搜,中英文均可

运行方式

双击运行 术语换算查询器.py

适用场景

· 新工程师入职培训速查 · 工艺参数换算验证 · 跨部门沟通术语对照 · 客户/供应商技术交流 · 编写技术文档参考

注意

· 仅使用标准库 tkinter,无需安装任何第三方包 · 换算函数基于标准物理常数,精度满足FAB工程需求 · 术语解释以实用性为主,适合工程师日常使用

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:FONT_BOLD=("SimHei", 10, "bold")、FONT_LARGE=("SimHei", 12, "bold")、FONT_MONO=("Consolas", 10)、FONT_SMALL=("SimHei", 9)、UNIT_CONVERSIONS={、GLOSSARY={。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

工具中出现的字段与提示

  • 膜厚换算 (Thickness)
  • nm (纳米)
  • um (微米)
  • mm (毫米)
  • A (埃)
  • inch (英寸)
  • 离子注入剂量换算 (Dose)
  • 需片厚信息
  • 晶圆面积换算 (Area)
  • 176.71 cm2 (直径150.8mm)
  • 314.16 cm2 (直径200mm)
  • 706.86 cm2 (直径300mm)
  • 电阻率类
  • 电阻率/方阻换算 (Resistance)
  • ohm/sq (薄层)
  • 需膜厚:{x}/d
  • 需膜厚:{x*1000}/d
  • 能量换算 (Energy)

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:术语换算查询器.py。

下载 术语换算查询 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

示例数据能直接跑吗?
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内,解压后直接运行即可看到完整输出,确认无误再替换成自己的台账。

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