BinMap 良率帕累托工具|良率与缺陷分析·Bin 级良率损失排序(附源码)

(复制到编辑器,段落间距保持一致)
BinMap 良率帕累托不该每次手做
缺陷图只有一堆数字,看不出聚集规律,改善资源不知道往哪压。 「BinMap 良率帕累托」这件事本身就是重复劳动:换一批数据就要重做一遍,做十次就错十次,而且没人愿意做。
把 BinMap 良率帕累托 从"看数字"变成"看分布"
良率分析+Bin分布可视化,支持多批次对比。Bin 级良率损失排序——把这段流程固化成一个桌面工具,数据进去、结论出来、图表直接能贴进报告。
工具结构
- 数据入口:导入 WaferMap / 缺陷 CSV 或使用内置演示数据,选中批次后一键分析;
- 晶圆级缺陷热力图,8 / 12 英寸通用;
- Bin 级缺陷分类与数量统计;
- 空间聚集性指标量化(边缘 / 中心 / 径向);
- 多批次对比,定位批次间漂移;
- 导出图表与统计表,用于改善立项;
核心能力
- 晶圆级缺陷热力图,8 / 12 英寸通用。
- Bin 级缺陷分类与数量统计。
- 空间聚集性指标量化(边缘 / 中心 / 径向)。
- 多批次对比,定位批次间漂移。
- 导出图表与统计表,用于改善立项。
怎么用
- 安装依赖:
pip install numpy matplotlib pandas tkinter; - 运行工具:双击或命令行执行主程序;
- 导入 WaferMap / 缺陷 CSV 或使用内置演示数据,选中批次后一键分析;
- 查看分析结果,按需导出。
输出什么
- 缺陷热力图:按空间位置与密度着色。
- Bin 统计:各类缺陷数量与占比。
- 聚集性指标:主位置与集中度。
判读要点(这部分比工具本身更值钱)
- 边缘环状聚集先查传输与清洗,中心聚集先查工艺腔体与气流。
- 缺陷密度比缺陷总数更有用:同样的数量,摊开和堆在一个地方不是一回事。
- 跨批次对比才见真问题:单批数据容易把随机波动当规律。
- 占比最高的不一定是根因:可能是最容易被检出的那一类。
使用边界
本工具基于仿真数据开发,用于分析与教学场景;真实数据请先核对 Bin 定义与坐标系原点,商用授权请联系作者。
下载入口
解压后先跑内置演示数据确认环境正常,再导入真实数据。遇到字段口径不一致时,优先改源码里的字段映射表,不要在 Excel 里硬凑。


