D0缺陷密度良率模型计算器｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 良率与芯片面积不是线性关系，而是由缺陷密度 D0 决定的指数/幂律关系。工程上高频三问： 「同样 D0，die 面积翻倍良率掉多少？」「想把良率从 78% 提到 88%，D0...
晶圆缺陷空间图谱分类器｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 质量工具的价值在于让不同人算同一批数据能得到同一个答案，而不是算得更花哨。 晶圆缺陷的「空间分布形态」直接指向不同根因：边缘环状 → 边缘刻蚀/清洗/光刻问题； 中心聚集 →...
多变量SPC Hotelling T²监控工
这个工具解决什么问题 工艺参数之间高度相关（RF 功率↑常伴随偏压↑、气压↓）。传统 SPC 对每个参数单独画控制图， 两个参数「各自都没超 3σ」，但它们的组合关系已经明显异常——这类故障单变量图...
XbarR均值极差控制图｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 先解决可比性，再谈改善。这工具先把数据整理到同一口径上。 用于监控连续型工艺参数的均值与波动，适用于半导体FAB中所有子组型数据。 同时显示Xbar均值图和R极差图，自动标红...
SPC异常自动告警｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 半导体FAB统计过程控制(SPC)实时监控工具。 内置10种常用工艺参数(膜厚/CD/剂量/电阻/WAT等)的SPC规则检测引擎， 实时检测越界、趋势漂移、连续偏移等6类异常，...
Nelson八规则控制图判异器｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 对工艺参数时序数据（如薄膜厚度、刻蚀速率、温度等）自动应用 Nelson 8条判异准则，标注所有违规点并生成判异报告。 Nelson 8条准则： Rule 1: 1个...
MSA测量系统分析工具｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 先解决可比性，再谈改善。这工具先把数据整理到同一口径上。 本软件是一款专业的测量系统分析(MSA)工具,采用均值极差法(Xbar-R)进行Gage R&R分析。 适用于半导体...
IMR单值移动极差控制图｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 单值-移动极差控制图 (I-MR Chart) 用于监控连续型单点测量数据， 不要求分组，适合FAB中无法分组或每次只有1个读数的场景。 I-MR 单值移动极差控制图 - F...
EWMA指数加权控制图｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 EWMA (Exponentially Weighted Moving Average) 控制图是一种加权控制图， 对近期数据赋予更高权重，对微小漂移比传统 Shewhart...
CPK过程能力计算器｜SPC实战工具
这个工具解决什么问题 把手工反复核对的环节交给脚本，是这类工具最实在的收益：省下的不是时间，是返工。 本工具用于计算半导体制造过程的过程能力指数Cp/Cpk/Pp/Ppk， 判断工艺是否满足规格要...