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光罩寿命与使用次数管理器|OEE与设备效能工具

这个工具解决什么问题

把损失科目拆开算,比笼统说提高稼动率有用得多。

光罩是 Fab 里最贵、最怕「用过头」的耗材:既有累计曝光寿命上限,又有单次清洗周期内的曝光上限。 漏管一张就是整批图形异常,代价极高。难的不是记录,而是提前知道哪张快到期: 按日均曝光量倒推,哪天该清洗、哪天该报废、制版提前期够不够。 本工具读入台账,自动算剩余寿命、清洗倒计时、预计报废日期,按紧急度分级排序并给排程建议。

输入数据格式

数据文件 reticle_ledger.csv,列顺序为:reticle_id、layer、product、max_exposures、used_exposures、clean_count、max_per_clean、used_since_clean、used_last_30d、last_clean_date。

示例首行:RET-M1-001,M1,产品A,120000,118500,7,15000,14200,2100,2026-09-22

示例输出(真实运行结果节选)

========================================================================================
光罩寿命与使用次数管理报告
报告日期:2026-09-28   台账张数:12   日均速率窗口:最近 30 天   制版提前期:45 天
========================================================================================

【一、状态分布】
  紧急      5 张  █████
  预警      0 张  
  关注      1 张  █
  正常      6 张  ██████

【二、需处理清单(按紧急度排序)】
  [紧急] RET-M1-002     M1        产品A      剩余寿命    -1000 次( -0.8%)  距清洗 238 天  预计报废 2026-09-08
          原因:累计曝光已超寿命上限 1000 次,必须报废换新
  [紧急] RET-CONT-021   CONT      产品A      剩余寿命      800 次(  0.5%)  距清洗 2 天  预计报废 2026-10-08
          原因:剩余寿命仅 0.5%,即将报废;预计 2 天后需清洗;预计 2026-10-08 报废,已进入制版提前期(45 天),需立即提交制版申请
  [紧急] RET-M2-042     M2        产品D      剩余寿命     2400 次(  1.2%)  距清洗 1 天  预计报废 2026-11-04
          原因:剩余寿命仅 1.2%,即将报废;预计 1 天后需清洗;预计 2026-11-04 报废,已进入制版提前期(45 天),需立即提交制版申请
  [紧急] RET-M1-001     M1        产品A      剩余寿命     1500 次(  1.2%)  距清洗 11 天  预计报废 2026-10-19
          原因:剩余寿命仅 1.2%,即将报废;预计 11 天后需清洗;预计 2026-10-19 报废,已进入制版提前期(45 天),需立即提交制版申请
  [紧急] RET-POLY-011   POLY      产品A      剩余寿命     4000 次(  4.0%)  距清洗 120 天  预计报废 2026-12-07
  

光罩寿命与使用次数管理器

> 半导体光罩/制造管理 Python 实战工具 · 核心功能零第三方依赖

文件内容

· reticle_life_manager.py:主程序(Python 3.8+,零第三方依赖) · reticle_ledger.csv:示例台账(12 张光罩,覆盖正常/关注/预警/紧急),无数据时自动生成 · reticle_report.txt / reticle_status.csv:中文报告与状态明细(可直接导入 Excel 做看板) · 附赠提示词.txt:同主题 AI 提示词 1 套

运行方法

python reticle_life_manager.py python reticle_life_manager.py 我的台账.csv

输入数据格式

reticle_ledger.csv: reticle_id, layer, product, max_exposures, used_exposures, clean_count, max_per_clean, used_since_clean, used_last_30d, last_clean_date

输出说明

1. 状态分布:紧急 / 预警 / 关注 / 正常 各几张 2. 需处理清单:按紧急度排序,含剩余寿命次数与百分比、距清洗天数、预计报废日、原因说明 3. 逐张明细:全台账的关键指标一览 4. 按层次汇总:哪一层光罩消耗最快、风险张数 5. 排程与备料建议:立即处理项、本月跟踪项、制版提前期内的采购提示

可调参数(文件顶部)

· RATE_WINDOW_DAYS:日均速率的统计窗口(默认 30 天) · PREP_LEAD_DAYS:制版/采购提前期(默认 45 天) · LEVELS:预警分级定义

结果怎么读

· 「剩余寿命 %」低于 5% 或已超清洗周期 → 紧急;15% 以下或距清洗 ≤7 天 → 预警 · 预计报废日已进入制版提前期(45 天)内的,必须立刻提交制版申请,否则会断版停线 · 注意区分两种到期:「寿命上限」到点要换新版,「清洗周期」到点只是送洗

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:DATA_CSV=os.path.join(BASE, "reticle_ledger.csv")、REPORT_TXT=os.path.join(BASE, "reticle_report.txt")、OUT_CSV=os.path.join(BASE, "reticle_status.csv")。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

会生成哪些文件

运行后除控制台输出外,还会生成:reticle_ledger.csv、reticle_report.txt、reticle_status.csv。

脚本里的主要处理步骤

  • gen_demo():生成 12 张光罩台账,覆盖正常 / 关注 / 预警 / 紧急 / 待清洗 各种状态。

以上步骤在脚本中是分开的函数,可以单独调用或按需替换其中一段,不必整体重写。

工具中出现的字段与提示

  • 生成 12 张光罩台账,覆盖正常 / 关注 / 预警 / 紧急 / 待清洗 各种状态。
  • 已超清洗周期(超出 %.0f 次),必须立刻送洗
  • 累计曝光已超寿命上限 %.0f 次,必须报废换新
  • 剩余寿命仅 %.1f%%,即将报废
  • 剩余寿命 %.1f%% 已进入关注区(<30%%)
  • 预计 %.0f 天后需清洗
  • 近 30 天无使用记录,速率无法估算,请核对台账
  • 预计 %s 报废,已进入制版提前期(%d 天),需立即提交制版申请
  • 未提供数据文件,已生成示例数据:%s(%d 张光罩)
  • 没有可用台账记录,请检查列名是否正确
  • 光罩寿命与使用次数管理报告
  • 【一、状态分布】
  • %-6s %2d 张 %s
  • 【二、需处理清单(按紧急度排序)】
  • 全部光罩状态正常,无需处理。
  • 原因:%s
  • 【三、逐张明细】
  • 寿命上限

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档,以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:reticle_life_manager.py。

下载 光罩寿命与使用次数管理器 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

输入数据要准备成什么样?
按 示例首行中的列顺序准备即可,共 10 列:reticle_id、layer、product、max_exposures、used_exposures、clean_count、max_per_clean、used_since_clean。列为空或格式不符时结果会失真,建议先用示例数据试跑一遍。

跑完最该关注哪几项?
报告按 一、状态分布、二、需处理清单(按紧急度排序)、三、逐张明细、四、按层次汇总(看哪一层光罩消耗最快) 等部分组织,其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

附赠的提示词怎么用?
把提示词与自己的数据一起交给大模型,可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。

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本工具归在 OEE与设备效能工具包,全部工具见 工具资源包下载页。

标签: 4119

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