OEE与设备效能工具包(59款)|稼动率·TPM·预测性维护实战工具
设备部门最容易陷入的循环是:停机了才修、修完不出三天又停。根因往往不是维修技术不行,而是数据没被算过——OEE 从来没拆到六损失层、故障间隔没统计过、备件消耗与故障率没关系。这个分类把设备侧该算的数补齐:从稼动率拆解到寿命外推,让「什么时候该修」有数据支撑。
这类问题,工具是怎么解决的
- OEE 只报一个数:86% 这个数字背后是换型损失大还是速度损失大,看不出来,改善也就无从下手
- 把「设备可用率」当 OEE 报:漏掉性能损失和不良损失,虚高十几个百分点
- PM 有计划没执行率:台账上写按期,实际漏检率无人统计,故障后才补录
- 备件凭经验备:几个关键备件常年缺货、其它一堆压库存,缺少基于故障率的定量依据
工具清单(共 59 款)
每款工具为一个 zip 包,内含可运行的 Python 脚本、示例数据与说明文档,基于标准库实现,无需安装额外依赖。点击名称可直接取用。
OEE与效率分解(13 款)
半导体OEE效率看板v2
设备OEE效率工具
FAB_哨兵点配置优化器
FAB_换型时间分析器
FAB_OEE_设备综合效率计算器
OEE综合效率计算器
OEE设备效率工具集
OEE设备效率看板工具
TEEP设备时间综合效率计算器
OEE数据可信度校验器
SEMI_E10设备状态时长分解器
OEE六大损失瀑布分解器
机台产能爬坡曲线与达标预测器
产能规划与匹配(6 款)
维护·点检·备件(15 款)
半导体设备维护调度v2
设备台账校准周期管理器
设备维护工具集
设备维护排程优化器
设备维护调度工具
FAB_备件库存优化器
FAB_预测性维护计划生成器
FAB_MES_库存台账管理
FAB_MES_设备维护工单
光罩寿命与使用次数管理器
设备PM按期完成率与漏检预警管理器
PM后恢复曲线与稳定时间分析器
设备轴承L10寿命与润滑周期计算器
设备点检覆盖率与巡检工时平衡分析器
设备油液分析与磨损趋势诊断器
故障诊断与可靠性(21 款)
传感器漂移检测工具
半导体FDC故障诊断v2
设备报警分析工具集
设备报警频次分类分析器
FAB_告警收敛_KPI分析器
FAB_设备健康评分计算器
FAB_设备MTBF_MTTR分析器
FAB_FDC_异常事件分析器
FAB_FDC_故障规则配置工具
FDC故障检测工具集
FDC故障诊断工具
MTBF_MTTR可靠性计算器
威布尔可靠性寿命与加速寿命外推器
可靠性增长Duane模型分析器
可靠度验证试验样本量设计器
设备报警关联规则挖掘器
设备振动频谱与轴承故障频率分析器
设备全生命周期成本LCC与经济更换年限分析器
系统可靠性框图RBD与冗余配置分析器
设备关键度评分与维修优先级排序器
设备报警 AI 分级与处置助手
设备数据采集与监控(2 款)
其他(2 款)
怎么选:三条建议
- OEE 类工具要选能拆到六损失(故障、换型、小停、速度、不良、试产)的,只给总分的不解决问题;注意区分「时间开动率」和「设备综合效率」,两者混用是最常见的上报偏差。
- 可靠性类工具看它会不会处理删失数据。设备寿命统计里「还没坏的设备」不是无效样本,直接删掉会把 MTBF 算短,用 Kaplan-Meier 处理才站得住。
- 维护管理类工具要能输出「未来 N 天该做什么」的排程,而不是只生成一份历史台账。台账只能证明做过,排程才能提前干预。
配套阅读
下面这些文章讲的是同一批问题的现场做法,工具怎么用、结论怎么读,先看文章再动手更快。
- OEE只有65%:我用数据驱动把设备利用率拉到85%
- OEE实战:一条线从58%到82%的改善路径
- AI推荐维护窗口:把PM从固定周期改成预测性
- 半导体百科:半导体量测设备与技术详解
- 半导体设备的SECS/GEM通信:工业4.0的连接基石
- 备件库存积压2000万:我用数据分析优化了库存
- 把FDC规则交给大模型:自然语言生成故障检测逻辑
- AI驱动FDC:半导体制造故障诊断实战指南
常见问题
OEE 到底该按设备算还是按产线算?
两种都要,但用途不同:按设备算是找瓶颈(哪台拖了后腿),按产线算是给管理层看整体效率。工具支持两种口径切换,注意切换时不要混用分子分母。
MTBF 和 MTTR 需要多少数据才可信?
经验上至少 10 次以上故障记录,最好覆盖一个完整保养周期。样本太少时工具会给出置信区间提示,这时候的 MTBF 只能当趋势参考,不能用来定备件定额。
预测性维护的模型一定要上机器学习吗?
不一定。多数现场用 Weibull 寿命分布 + 阈值告警就能拿到大部分收益,而且解释得清楚;只有当有连续传感器数据、且故障样本足够时,机器学习才有边际价值。
点检表怎么防止漏检?
关键是让「未检」和「合格」在数据上长得不一样。工具用到期日 + 逾期天数双字段记录,未填写的项目单独列出,不会和「已检且合格」混成一种状态。
工具包导航
全部工具按方向分成 7 个分类,可按需直达:
- 工具资源包总览(341 款)——全部分类的下载入口
- SPC与质量分析工具包(75 款)
- MES与生产管理工具包(53 款)
- 半导体工艺参数分析工具包(64 款)
- 工业AI与智能分析工具包(36 款)
- 工程效率工具包(11 款)
- 制造业通用工具包(43 款)
本类工具详解页
每款工具的输入格式、输出解读、算式口径与常见坑都有独立说明页:
- 产能负荷分析器
- 半导体设备产能分析v2
- 半导体设备维护调度v2
- 半导体FDC故障诊断v2
- 半导体OEE效率看板v2
- 设备报警分析工具集
- MQTT设备数据采集监控器
- 机台间匹配度ToolMatching分析器
- 光罩寿命与使用次数管理器
- 威布尔可靠性寿命与加速寿命外推器
- 设备PM按期完成率与漏检预警管理器
- 可靠性增长Duane模型分析器
- TEEP设备时间综合效率计算器
- 设备能力指数Cmk计算器
- OEE数据可信度校验器
- 可靠度验证试验样本量设计器
- SEMI_E10设备状态时长分解器
- PM后恢复曲线与稳定时间分析器
- 设备报警关联规则挖掘器
- 设备振动频谱与轴承故障频率分析器
- OEE六大损失瀑布分解器
- AMHS_OHT搬送能力与拥堵分析器
- 设备轴承L10寿命与润滑周期计算器
- 设备全生命周期成本LCC与经济更换年限分析器
- 系统可靠性框图RBD与冗余配置分析器
- 设备关键度评分与维修优先级排序器
- 机台产能爬坡曲线与达标预测器
- 设备报警 AI 分级与处置助手
- 设备点检覆盖率与巡检工时平衡分析器
- 设备油液分析与磨损趋势诊断器
以上工具均基于公开的行业方法论(GB/T 2828.1、ISO 2859-1、SEMI 相关规范等)实现,用于工艺与运营侧的核算分析;结果请结合实际现场条件复核后使用。