设备点检覆盖率与巡检工时平衡分析器|OEE与设备效能工具
这个工具解决什么问题
> 点检表上设备一台不少,实际巡检总有人被跳过 —— 覆盖率要按关键度加权算。
输入数据格式
数据文件 equipment_list.csv,列顺序为:设备编号、设备名称、关键度、点检项数、单项分钟、要求频次、X、Y。
示例首行:EQ-01,光刻机 A,A,14,1.2,1,10,20
示例输出(真实运行结果节选)
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设备点检覆盖率与巡检工时平衡分析器
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设备总数 22 台;巡检路线 4 条;每班可用巡检工时 420 分钟
【① 覆盖率】
按台数:20/22 = 90.9%
按关键度加权(A=3/B=2/C=1):44/50 = 88.0%
未纳入任何路线的设备 2 台:
EQ-07 离子注入机 关键度 A 要求 1 次/班 ⚠ 关键设备,必须补入路线
EQ-22 应急电源 UPS 关键度 A 要求 1 次/班 ⚠ 关键设备,必须补入路线
漏点检设备占加权覆盖缺口 12.0%(6/50)
【② 点检频次满足率】
需要总次数 27 次/班,路线实际安排 22 次/班,满足率 81.5%
频次不足的设备 7 台:
EQ-07 离子注入机 要求 1 次/班,实际 0 次/班(差 1 次)
EQ-09 清洗机 01 要求 2 次/班,实际 1 次/班(差 1 次)
EQ-10 清洗机 02 要求 2 次/班,实际 1 次/班(差 1 次)
EQ-13 膜厚仪 要求 2 次/班,实际 1 次/班(差 1 次)
EQ-14 颗粒检测仪 要求 2 次/班,实际 1 次/班(差 1 次)
EQ-21 晶圆暂存柜 要求 2 次/班,实际 1 次/班(差 1 次)
EQ-22 应急电源 UPS 要求 1 次/班,实际 0 次/班(差 1 次)
【③ 巡检工时平衡】
路线 巡检员 点检工时 走动工时 合计 占班时 状态
R1 张工 71.8 3.5 75.3 17.9% 正常
R2 李工 69.5 4.1 73.6 17.5% 正常
R3 王工 30.3 3.8 34.1 8.1%
适用场景
· 体系审核前自查:有没有关键设备根本没排进任何巡检路线 · 巡检员反馈忙的忙死、闲的闲死,需要客观工时数据 · 线体改造或设备增减后要重排路线 · 要点检频次(次/班)与现有路线能力对账
怎么用
python inspection_route_balance.py
首次运行会自动生成示例数据并输出完整报告。把示例数据换成自己的(保持列名与列顺序一致)后重新运行即可。
输入数据
equipment_list.csv(设备 / 关键度 A-B-C / 点检项数 / 单项分钟 / 要求频次 / 坐标)与 inspection_routes.csv(路线 / 巡检员 / 设备顺序)。自带 22 台设备、4 条路线,其中 2 台 A 类设备故意漏排。
输出内容
· 覆盖率:按台数、按关键度加权(A=3/B=2/C=1)两个口径,并点名漏点检设备 · 点检频次满足率:要求总次数 vs 路线实际安排次数,列出频次不足的设备 · 巡检工时平衡:每条路线的点检工时 + 走动工时、占班时比例、平衡率与极差 · 重排建议:把重路线里的轻设备挪到轻路线,给出调整后的平衡率 · 行动建议:补入路线、频次补足、超时路线处置
口径与注意事项
· 走动工时按直线距离 × 绕行系数 ÷ 步行速度估算,从巡检室出发算往返 · 重排建议只做工时最优,落地前必须确认设备工艺关联与现场安全边界 · 覆盖率是计划口径;真实覆盖率要用扫码点检记录核对
其他
· 关键度权重与每班可用工时(默认 420 分钟)在脚本顶部可调。 · 输出报告为纯文本,可直接归档或作为附件;报告文件名见上方文件说明。 · 全部计算仅依赖 Python 标准库(csv / math / random / os),不需要联网、不需要安装任何包。
附赠提示词怎么用
脚本顶部集中了主要阈值与常量:CSV_EQ="equipment_list.csv"、CSV_RT="inspection_routes.csv"、REPORT_NAME="inspection_report.txt"、CRIT_WEIGHT={"A": 3, "B": 2, "C": 1}。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。
会生成哪些文件
运行后除控制台输出外,还会生成:equipment_list.csv、inspection_routes.csv、inspection_report.txt。
脚本里的主要处理步骤
walk_min():路线走动时间:从巡检室(0,0)出发,依次经过设备,最后回到出发点的直线距离。
以上步骤在脚本中是分开的函数,可以单独调用或按需替换其中一段,不必整体重写。
工具中出现的字段与提示
- 光刻机 A
- 光刻机 B
- 涂胶显影机
- 刻蚀机 01
- 刻蚀机 02
- 薄膜沉积 CVD
- 离子注入机
- CMP 研磨机
- 清洗机 01
- 清洗机 02
- 量测 SEM
- 颗粒检测仪
- 真空泵组
- 冷水机组
- 废气处理
- 超纯水站
- 化学品库
- 晶圆暂存柜
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档,以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。
主程序文件:inspection_route_balance.py。
本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
输入数据要准备成什么样?
按 示例首行中的列顺序准备即可,共 8 列:设备编号、设备名称、关键度、点检项数、单项分钟、要求频次、X、Y。列为空或格式不符时结果会失真,建议先用示例数据试跑一遍。
跑完最该关注哪几项?
报告按 ① 覆盖率、② 点检频次满足率、③ 巡检工时平衡、④ 重排建议(把重路线里的轻设备挪到轻路线) 等部分组织,其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。
阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。
附赠的提示词怎么用?
把提示词与自己的数据一起交给大模型,可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。
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分类归属:OEE与设备效能工具包;完整清单在 工具资源包下载页。





