刻蚀速率均匀性分析器｜工艺参数分析工具
这个工具解决什么问题
工艺分析最怕用错模型：同一现象套不同公式，结论南辕北辙。适用条件会写在说明里。
=== Etch Rate Uniformity Analyzer === Version: v1.0 Platform: Windows, Python 3.8+
[Function] Built-in 9-point wafer thickness (before/after etch) data, calculates: · Etch rate per point (nm/s) · Mean etch rate · 1-Sigma uniformity · Range (%) non-uniformity Plots: 9-point bar chart, wafer contour map, uniformity metrics.
[Usage] 1. Run: python 刻蚀速率均匀性分析器.py 2. Adjust etch time and click "Calculate" 3. Or click "Example Data"
[Built-in Data] Before thickness: [520,510,505,515,500,510,518,512,508] nm After thickness: [120,115,110,118,108,115,122,116,112] nm Etch time: 120 s
[Dependencies] Python 3.8+, numpy, matplotlib
可调参数与计算口径
脚本顶部集中了主要阈值与常量：FONT_ENTRY=('SimHei', 10)、FONT_LABEL=('SimHei', 10)、FONT_TITLE=('SimHei', 12, 'bold')、WAFER_POS=np.array([、ALL_X=np.linspace(-0.9, 0.9, 32)、ALL_Y=np.linspace(-0.9, 0.9, 32)。改完直接重跑即可，不必改动计算逻辑。
工具中出现的字段与提示
- 刻蚀速率均匀性分析器
- 刻蚀时间 (s):
- 晶圆直径 (mm):
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：刻蚀速率均匀性分析器.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
阈值可以改成我们自己的标准吗？
可以，脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明，按自己产线的标准修改后重跑即可，不需要改计算逻辑。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
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