配方偏离Recipe检测器｜工艺参数分析工具
这个工具解决什么问题
工艺改善的靶点通常藏在参数相关性里，单看一个指标看不出来。
15个标准配方参数（氧化物刻蚀工艺），50批次实测数据。 对照标准值与公差，计算每批次各参数的偏差百分比， 超阈自动报警，绘制偏差条形图和关键参数趋势图。
配方偏离Recipe检测器 v1.0 ========================= 半导体FAB工程师 配方监控工具
内置配方参数
· Chamber Pressure, RF Source/Bias Power · Gas(Cl2/Ar/O2/CF4) Flow, ESC Temp · He Backside Pressure, Process Time · DC Bias, Etch Rate, Uniformity, Endpoint Time, Step Pressure
使用方法
python main.py
操作说明
· 启动自动加载最近批次的偏差分析 · 下拉选择"批次"查看不同批次的偏差 · 阈值滑块调节报警灵敏度（1%~20%） · 左侧图：偏差条形图（红色=超阈报警） · 右侧图：关键参数随时间变化趋势（虚线=报警边界） · 右侧报告滚动查看详细分析
依赖
· Python 3.8+ · numpy · matplotlib
作者：半导体FAB工具集 日期：2026-07-25
可调参数与计算口径
脚本顶部集中了主要阈值与常量：FONT_BOLD=("SimHei", 10, "bold")。改完直接重跑即可，不必改动计算逻辑。
工具中出现的字段与提示
- 生成标准配方与实测值
- 生成 n_measurements 组实测数据
- 配方偏差分析
- 分析单批次偏差
- 分析所有批次
- 获取最近一批结果
- 某参数随时间变化趋势
- 生成汇总报告
- Recipe 配方偏差检测报告
- 参数数: {len(self.param_names)}
- 批次总数: {len(self.measurements)}
- 报警阈值: +/-{self.alarm_threshold:.1f}%
- [最近批次 #{latest[
- 报警参数: {len(latest[
- ])} 个
- 最大偏差: {latest[
- -------- 报警参数列表 --------
- {flag} {name:<30s} 偏差: {dev:+7.2f}%
其余字段以界面与示例报告为准。
下载与文件清单
压缩包内包含：主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档。解压后按说明运行即可，示例数据可直接试跑。
主程序文件：main.py。
本站工具免费下载，无需注册。工具为 Python 脚本，Python 3.8 及以上环境可直接运行，核心功能尽量不依赖第三方库。
常见问题
阈值可以改成我们自己的标准吗？
可以，脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明，按自己产线的标准修改后重跑即可，不需要改计算逻辑。
示例数据能直接跑吗？
可以。示例数据与主程序在同一压缩包内，解压后直接运行即可看到完整输出，确认无误再替换成自己的台账。
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本工具归在 半导体工艺参数分析工具包，全部工具见 工具资源包下载页。
