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药液槽寿命BathLife管理器|制造业通用工具

这个工具解决什么问题

把行业惯例写成默认参数,可以省掉大量沟通成本。

湿法药液槽有三个寿命约束,任何一个到点都必须换液:① 处理片数上限、② 上槽天数上限、 ③ 有效成分浓度下限。三者取「最早到期的那个」才是真正换液时点。 现实中最容易犯的错:只盯片数忘了天数(长时间低产量的槽),或只看日历不测浓度。 本工具同时算三条约束的剩余时间与预计到期日,取最早者,给出换液排程与浓度衰减外推。

输入数据格式

数据文件 bath_ledger.csv,列顺序为:bath_id、process、chemical、charge_date、max_wafers、used_wafers、max_days、conc_initial_pct、conc_current_pct、conc_min_pct、last_measured_date。

示例首行:BATH-SPM-01,SPM_CLEAN,H2SO4:H2O2=4:1,2026-09-19,6000,5750,12,100.0,88.5,80.0,2026-09-28

示例输出(真实运行结果节选)

============================================================================================
药液槽寿命(Bath Life)管理报告
报告日期:2026-09-28   槽数:10   规则:剩余≤3 天紧急 / ≤7 天预警 / ≤14 天关注
============================================================================================

【一、状态分布】
  紧急      6 个  ██████
  预警      2 个  ██
  关注      2 个  ██
  正常      0 个  

【二、换液排程(按紧急度排序)】
  槽体             工艺           状态     瓶颈约束            剩余(天) 预计换液日        说明
  BATH-NIT-01    NITRIC_ETCH  紧急     浓度               -1.1 2026-09-28   已超浓度约束 1.1 天,需立即换液(其余:上槽天数约束剩 1.0 天;片数约束剩 1.0 天)
  BATH-SC1-02    SC1_CLEAN    紧急     上槽天数              0.0 2026-09-28   已超上槽天数约束 -0.0 天,需立即换液(其余:片数约束剩 1.6 天;浓度约束剩 2.4 天)
  BATH-SPM-01    SPM_CLEAN    紧急     片数                0.4 2026-09-28   距片数约束到期仅 0.4 天(其余:上槽天数约束剩 3.0 天;浓度约束剩 6.7 天)
  BATH-DHF-01    DHF_CLEAN    紧急     浓度                0.4 2026-09-28   距浓度约束到期仅 0.4 天(其余:上槽天数约束剩 1.0 天;片数约束剩 12.7 天)
  BATH-BOE-01    BOE_ETCH     紧急     片数                0.8 2026-09-28   距片数约束到期仅 0.8 天(其余:浓度约束剩 2.7 天;上槽天数约束剩 14.0 天)
  BATH-SC1-01    SC1_CLEAN    紧急     浓度                1.9 2026

药液槽寿命(Bath Life)管理器

> 半导体湿法工艺 Python 实战工具 · 核心功能零第三方依赖

文件内容

· bath_life_manager.py:主程序(Python 3.8+,零第三方依赖) · bath_ledger.csv:示例台账(10 个药液槽,覆盖三种约束各自成为瓶颈的情形) · bath_life_report.txt / bath_life.csv:中文报告与逐槽明细 · 附赠提示词.txt:同主题 AI 提示词 1 套

运行方法

python bath_life_manager.py python bath_life_manager.py 我的台账.csv

输入数据格式

bath_ledger.csv: bath_id, process, chemical, charge_date, max_wafers, used_wafers, max_days, conc_initial_pct, conc_current_pct, conc_min_pct, last_measured_date

输出说明

1. 状态分布:紧急 / 预警 / 关注 / 正常 各几个槽 2. 换液排程:按紧急度排序,含瓶颈约束、剩余天数、预计换液日、说明 3. 三条约束对照表:一眼看出到底是谁先到(片数 / 天数 / 浓度) 4. 浓度衰减外推:各槽的衰减率(%/天)与推算依据 5. 改善建议:立即换液项、同时上监控看板的必要性、自动补料(replenish)的收益评估

可调参数(文件顶部)

· WARN_DAYS:剩余 ≤ 该天数 → 紧急(默认 3) · CARE_DAYS:剩余 ≤ 该天数 → 预警(默认 7),≤2 倍为关注 · PROCESS_NOTE:工艺说明文案

结果怎么读

· 「瓶颈约束」一列是本工具的核心价值:同样的剩余天数,根因可能是三个完全不同的约束 · 若频繁出现「浓度先到」,说明药液消耗速度与设计不匹配,可评估自动补料方案(通常延长换液周期 30%~100%) · 浓度衰减按「上槽初始浓度 → 最近实测浓度」线性外推,仅适用于近似线性衰减; 存在补料(replenish)时曲线呈锯齿状,需按补料周期分段建模

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:DATA_CSV=os.path.join(BASE, "bath_ledger.csv")、OUT_CSV=os.path.join(BASE, "bath_life.csv")、LEVELS=["紧急", "预警", "关注", "正常"]、PROCESS_NOTE={。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

会生成哪些文件

运行后除控制台输出外,还会生成:bath_ledger.csv、bath_life_report.txt、bath_life.csv。

脚本里的主要处理步骤

  • gen_demo():生成 10 个药液槽台账,覆盖三种约束各自成为瓶颈的情形。

以上步骤在脚本中是分开的函数,可以单独调用或按需替换其中一段,不必整体重写。

工具中出现的字段与提示

  • 最早到期的那个
  • 只盯片数、忘了天数
  • 只看日历、没测浓度
  • 硫酸双氧水清洗(去有机物/光刻胶)
  • 稀氢氟酸清洗(去自然氧化层)
  • 缓冲氧化层刻蚀
  • 氨水双氧水清洗(去颗粒)
  • 盐酸双氧水清洗(去金属离子)
  • TMAH 显影液
  • 硝酸系刻蚀液
  • 生成 10 个药液槽台账,覆盖三种约束各自成为瓶颈的情形。
  • 上槽天数
  • 已上槽 %d 天 / 上限 %.0f 天
  • 当前 %.2f%% / 下限 %.2f%%,衰减 %.4f%%/天
  • 已超%s约束 %.1f 天,需立即换液
  • 距%s约束到期仅 %.1f 天
  • 距%s约束到期 %.1f 天
  • 距%s约束到期 %.1f 天,余量充足

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档,以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:bath_life_manager.py。

下载 药液槽寿命BathLife管理器 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

输入数据要准备成什么样?
按 示例首行中的列顺序准备即可,共 11 列:bath_id、process、chemical、charge_date、max_wafers、used_wafers、max_days、conc_initial_pct。列为空或格式不符时结果会失真,建议先用示例数据试跑一遍。

跑完最该关注哪几项?
报告按 一、状态分布、二、换液排程(按紧急度排序)、三、三条约束对照(看清楚到底是谁先到)、四、浓度衰减外推 等部分组织,其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

附赠的提示词怎么用?
把提示词与自己的数据一起交给大模型,可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。

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本工具归在 制造业通用工具包,全部工具见 工具资源包下载页。

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