FMEA失效模式分析Excel模板|RPN自动计算与风险分级
一、FMEA 最难的从来不是表格,是这三件事
做过 FMEA 的工程师都知道,难的不是画一张表:
第一难:RPN 是算出来的,不是抄出来的。 50 行的 PFMEA,每行 S×O×D 手工乘一遍,再按结果手工判「高/中/低」。算到第 30 行开始眼花,错一个数,整个优先级排序就歪了。
第二难:改善做了,效果说不清。 「我们加了在线量测」——然后呢?措施后 RPN 是多少?风险降低了百分之几?如果答不出数字,8D 报告和客诉回复都缺一块。
第三难:评审会上优先级吵不出来。 同一工序,工艺打 S=6、品质打 S=8。没有统一的评分准则,FMEA 会议很容易开成各说各话。
二、这份模板的结构
②FMEA分析表 —— 21 列完整链路
工序/功能 → 潜在失效模式 → 失效后果 → 严重度 S → 失效原因 → 现行预防措施 → 发生度 O → 现行探测措施 → 探测度 D → RPN → 风险等级 → 建议措施 → 责任人 → 目标日期 → 措施后 S/O/D → 措施后 RPN → 风险降低率 → 状态
你只需要填 S、O、D 三个分(有输入校验,只许 1~10),其余计算列全部自动:
- RPN = S×O×D,自动计算
- 风险等级自动判「高/中/低」并三色着色
- 措施后 S/O/D 一填,措施后 RPN 与风险降低率自动出
判定规则(可在⑤页自定义): S ≥ 9 视为安全/法规相关,等级至少「中」;当 O≥4 或 D≥5 时直接判「高」。否则按 RPN:≥100 高、40~99 中、<40 低。
③评分准则页 —— 统一评审口径 S / O / D 各 1~10 分的判定依据表。评审会开始前先过一遍这张表,打分口径对齐了,后面才吵不起来。
④统计看板页 —— 风险全景 条目总数、高中低分布、平均 RPN、最大 RPN、措施完成率、平均风险降低率,以及自动排序的 Top5 高风险条目。
三、内置 12 条半导体制程示例
这不是空模板。预置的 12 条示例覆盖六大工序,每条都是完整的失效链:
| 工序 | 失效模式 | S | O | D | RPN | 等级 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 薄膜/溅射 | 金属层空洞 | 8 | 4 | 5 | 160 | 高 |
| 封装/划片 | 崩边超标 | 8 | 4 | 5 | 160 | 高 |
| CMP | 碟形凹陷 Dish | 7 | 5 | 4 | 140 | 高 |
| 刻蚀/干法 | 刻蚀速率偏低 | 8 | 4 | 4 | 128 | 高 |
| 薄膜/PECVD | 膜厚偏薄 | 9 | 3 | 3 | 81 | 中 |
| 量测/CD-SEM | 量测误差偏大 | 8 | 2 | 2 | 32 | 低 |
新手可以直接照着这 12 条的写法学「失效模式怎么描述、后果怎么量化、措施怎么落地」。
四、界面预览

分析表:填 S/O/D 三个分,RPN、等级、措施后降幅自动出

统计看板:Top5 高风险、高中低分布、措施完成率、平均降幅
五、和 AIAG-VDA 的关系(说清楚)
模板默认用业界通用的 RPN 法(S×O×D,1~1000)——简单、直接、全球通行,国内绝大多数工厂现行在用。
AIAG-VDA 第 1 版改用了 Action Priority(AP: H/M/L)方法。两者的 S/O/D 评分口径完全一致,本模板输出的 S/O/D 可以直接作为 AP 判定的输入;阈值页的判定规则也可以按你公司标准自行调整。
我们没有在模板里内置一张「据说对齐 AIAG-VDA」的 AP 表——宁可给你一套可配置、可解释的规则,也不给你一张对不上手册的表。这是模板使用者的立场。
六、怎么用(3 步)
- 对齐口径:评审会前过一遍③评分准则页,统一 S/O/D 打分标准。
- 填内容:逐行填工序、失效模式、后果、原因、现行措施,再打 S/O/D 三个分。
- 看结果:RPN、等级、Top5 全部自动出;措施落实后回填措施后 S/O/D,降幅自动算。
七、常见问题
Q1:需要装插件或开宏吗? 不需要,纯 .xlsx 公式,Excel 2016+ / WPS 直接开。
Q2:判定标准能改吗? 能。⑤页三个格(S 临界 9 / RPN 高 100 / RPN 中 40),改完全表自动跟着变。
Q3:能做 DFMEA 吗? 能。21 列结构通用,把「工序/功能」列写成设计功能即可,建议 DFMEA 与 PFMEA 分文件管理。
Q4:数据安全吗? 纯本地公式,不联网、无外部链接。
Q5:超过 40 条怎么办? 下拉复制公式即可扩展。
八、资料获取
模板文件(含 12 条示例与评分准则表)已打包,前往「资源下载」页获取。





