卷三收尾,讲三件不起眼的事。先从一桩查不清的案子说起。十月中旬的一个夜班,凌晨一点四十七分,ET02报了气体流量异常。同一时段的值班记录里写着:操作员小林一点四十四分听到异响,手动按了急停。...
先说那个盒子。装着25片12寸晶圆的密封塑料盒,行话叫FOUP,一座厂里同时有几千个在跑。十一月的一个下午,一点零六分,LotL261029-A01-001在量测站完工。...
上午十点零三分,ET02的一批货出来了,送到量测机。CD-SEM对25片晶圆逐片量线宽,十点二十一分,25个数字生成,外加一堆机器自己才认识的原始文件。其中一片,线宽比中心值偏了1纳米。...
上一卷讲了十二个系统各管什么。这一卷讲它们怎么配合,从一通没打出去的电话讲起。十月二十九日夜班,零点十四分,LotL261029-A01-001在量测站出了站。...
阿凯第一次被系统"派活",是被手机震醒的。下午两点四十,他正在改一段报表脚本,手机弹出一条:新任务QN-261030-041,ET02腔体B真空异常,涉及LotL261029-A01-001,要求两小...
早上九点二十,库房同事推着车到黄光区门口,要提一桶光刻胶。光刻胶就是涂在晶圆上、拿光一照就能显影出图案的那种黏稠液体,感光,怕光、怕热、怕放久。他扫描货位,系统弹出提示:建议领用批次PG-2610-B...
阿凯第一次进无尘室,最不习惯的不是那身兔子装,是头顶。抬头看,天花板上全是轨道,银灰色的,像缩小版的高架桥,横竖交错。轨道上挂着一节一节的小车,跑起来没什么声音,只有拐弯的时候"咔"一下。车里吊着一个...
阿凯十一点半躺下,手机在床头柜上震到第三次,他才摸到。"阿凯,A01的良率掉了。"那头是夜班班组长,背景里有气动阀排气的嘶嘶声,"昨天白班还有96.8,晚班这批出来93.9。厂长八点进厂,要看原因。"...
上午九点四十,阿凯正在核昨天的量测数据,屏幕上跳出一行系统消息:"ET02配方参数已自动调整:主刻蚀时间62.0秒→62.6秒。依据:LotL261029-A01-001CD0.1792。"他盯着看了...
周三上午十点二十,阿凯在SPC的页面上看到一条黄色提示。SPC,StatisticalProcessControl,统计制程管制。说白了就是拿一张图,把量出来的数点上去,看它怎么走。...