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设备PM按期完成率与漏检预警管理器|OEE与设备效能工具

叶志辉2周前 (10-10)半导体工具包21

这个工具解决什么问题

设备台账维护得好不好,直接决定分析能走多远。这工具对输入字段做了最小要求。

设备 PM(预防性维护)台账通常是一张 Excel:设备、项目、周期、上次完成日期。

输入数据格式

数据文件 pm_plan.csv,列顺序为:equipment、pm_item、cycle_days、last_done、owner、std_minutes、criticality。

示例首行:ETCH-01,腔体湿洗,30,2026-08-19,张工,180,高

示例输出(真实运行结果节选)

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设备 PM 按期完成率与漏检预警报告
基准日期:2026-09-29   PM 台账项数:18   历史完成记录:24 条
==============================================================================

【一、总体状态】
------------------------------------------------------------------------------
  已逾期(含漏检):  2 项
  未来 7 天内到期   :  8 项
  无 PM 记录的漏检项 :  2 项(到期但查不到完成记录)
  按时完成率         : 62.5%(15/24)
  逾期项合计工作量   : 165 分钟(约 2.8 人时)

【二、逾期待补做清单(按逾期天数降序)】
------------------------------------------------------------------------------
  设备         PM项目                  周期d 应完成日              逾期d 关键   状态
  CMP-04     抛光垫更换                   7 2026-09-27          2 高    已逾期
  IMPL-05    剂量校准                   30 2026-09-28          1 高    已逾期

【三、漏检项核查(到期但无完成记录)】
------------------------------------------------------------------------------
  ● CMP-04 / 抛光垫更换(高关键度 责任人:周工,应于 2026-09-27 前完成)
  ● IMPL-05 / 剂量校准(高关键度 责任人:郑工,应于 2026-09-28 前完成)

【四、未来排程(7 天内到期)】
------------------------------------------------------------------------------
  到期日          设备         PM项目                   标

1. 总体状态:逾期项数、未来 7 天到期数、漏检项数、按时完成率、逾期项合计工作量 2. 逾期待补做清单:按逾期天数降序 3. 漏检项核查:到期但查不到完成记录的项目 4. 未来排程:7 天内到期项目,带标准工时与责任人 5. 按设备汇总:项数、逾期数、完成记录数、准时率 6. 行动建议:高关键度逾期项 24 小时补做、准时率低的设备重设周期、双触发器、漏检闭环

· 高关键度逾期项(湿洗/颗粒/校准/剂量类)直接关联良率与安全,必须立即处理。 · 准时率 <80% 通常不是执行力问题,而是周期设定不合理或人力不足—— 应重新按实际工况(片数/运行小时)折算周期,而不是一刀切按自然日。 · 「无记录 ≠ 未做」:漏检项先核实纸质/系统记录,再补录并追责。

设备 PM 按期完成率与漏检预警管理器

> 半导体/制造业设备工程师 Python 实战工具 · 核心功能零第三方依赖

问题出在三处

1. 到期日靠人脑算——几十台设备几百个项目,谁今天到期没人说得清; 2. 「无记录」和「没做」分不清——审核时才发现某个项目三个月没记录; 3. 准时率算不出来——只知道做了,不知道是提前做、按时做还是拖了半个月才做。

本工具读入 PM 台账与历史完成记录,自动计算到期日、逾期天数、漏检项、准时率, 并输出未来排程与按设备汇总的执行质量。

会生成哪些文件

· pm_tracker.py:主程序(Python 3.8+,零第三方依赖) · pm_plan.csv:示例 PM 台账(6 台设备 18 个项目) · pm_records.csv:示例历史完成记录(24 条) · pm_report.txt:运行后自动生成的中文分析报告 · 附赠提示词.txt:同主题 AI 提示词 1 套

> 示例数据相对「今天」动态生成,所以任何时候运行都有一批逾期项、临近项和正常项,效果稳定可复现。

运行后除控制台输出外,还会生成:pm_plan.csv、pm_records.csv、pm_report.txt。

运行方法

python pm_tracker.py # 首次运行自动生成示例数据 python pm_tracker.py --demo # 删除示例数据重新生成

可调参数与计算口径

脚本顶部集中了主要阈值与常量:PLAN=os.path.join(BASE, "pm_plan.csv")、RECS=os.path.join(BASE, "pm_records.csv")、REPORT=os.path.join(BASE, "pm_report.txt")、TODAY=date.today()、SAMPLE_PLAN=[、SAMPLE_RECS=[。改完直接重跑即可,不必改动计算逻辑。

工具中出现的字段与提示

  • 腔体湿洗
  • 电极更换检查
  • 真空泵油检查
  • 腔体颗粒擦拭
  • 气体管路泄漏检测
  • 温控器校准
  • 光刻镜头清洁
  • 载台平整度检查
  • 光源强度校准
  • 抛光垫更换
  • 研磨液管路清洗
  • 承载头压力校准
  • 离子源灯丝检查
  • 剂量校准
  • 真空度点检
  • 药液槽排空清洗
  • 纯水电阻率点检
  • 排风系统检查

其余字段以界面与示例报告为准。

下载与文件清单

压缩包内包含:主程序脚本、示例数据文件、示例输出报告、中文说明文档,以及同主题 AI 提示词一套。解压后按说明运行即可,示例数据可直接试跑。

主程序文件:pm_tracker.py。

下载 设备PM按期完成率与漏检预警管理器 工具包(zip)

本站工具免费下载,无需注册。工具为 Python 脚本,Python 3.8 及以上环境可直接运行,核心功能尽量不依赖第三方库。

常见问题

输入数据要准备成什么样?
按 示例首行中的列顺序准备即可,共 7 列:equipment、pm_item、cycle_days、last_done、owner、std_minutes、criticality。列为空或格式不符时结果会失真,建议先用示例数据试跑一遍。

跑完最该关注哪几项?
报告按 一、总体状态、二、逾期待补做清单(按逾期天数降序)、三、漏检项核查(到期但无完成记录)、四、未来排程(%d 天内到期)、五、按设备汇总 等部分组织,其中判定结论与建议部分直接对应下一步动作。

阈值可以改成我们自己的标准吗?
可以,脚本顶部已把主要阈值与常量集中声明,按自己产线的标准修改后重跑即可,不需要改计算逻辑。

附赠的提示词怎么用?
把提示词与自己的数据一起交给大模型,可以让它按同一套口径帮你改写分析流程或扩展报告字段。

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分类归属:OEE与设备效能工具包;完整清单在 工具资源包下载页。

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