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良率损失分解工具|良率与缺陷分析·良率损失树逐级拆解(附源码)

良率损失分解 封面

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良率损失分解不该每次手做

缺陷图只有一堆数字,看不出聚集规律,改善资源不知道往哪压。 「良率损失分解」这件事本身就是重复劳动:换一批数据就要重做一遍,做十次就错十次,而且没人愿意做。

把 良率损失分解 从"看数字"变成"看分布"

良率损失按Bin/Wafer/Lot多维度分解。良率损失树逐级拆解——把这段流程固化成一个桌面工具,数据进去、结论出来、图表直接能贴进报告。

工具结构

  1. 数据入口:导入 WaferMap / 缺陷 CSV 或使用内置演示数据,选中批次后一键分析;
  2. 晶圆级缺陷热力图,8 / 12 英寸通用;
  3. Bin 级缺陷分类与数量统计;
  4. 空间聚集性指标量化(边缘 / 中心 / 径向);
  5. 多批次对比,定位批次间漂移;
  6. 导出图表与统计表,用于改善立项;

核心能力

  • 晶圆级缺陷热力图,8 / 12 英寸通用。
  • Bin 级缺陷分类与数量统计。
  • 空间聚集性指标量化(边缘 / 中心 / 径向)。
  • 多批次对比,定位批次间漂移。
  • 导出图表与统计表,用于改善立项。

怎么用

  1. 安装依赖:pip install numpy matplotlib pandas tkinter;
  2. 运行工具:双击或命令行执行主程序;
  3. 导入 WaferMap / 缺陷 CSV 或使用内置演示数据,选中批次后一键分析;
  4. 查看分析结果,按需导出。

输出什么

  • 缺陷热力图:按空间位置与密度着色。
  • Bin 统计:各类缺陷数量与占比。
  • 聚集性指标:主位置与集中度。

判读要点(这部分比工具本身更值钱)

  • 边缘环状聚集先查传输与清洗,中心聚集先查工艺腔体与气流。
  • 缺陷密度比缺陷总数更有用:同样的数量,摊开和堆在一个地方不是一回事。
  • 跨批次对比才见真问题:单批数据容易把随机波动当规律。
  • 占比最高的不一定是根因:可能是最容易被检出的那一类。

使用边界

本工具基于仿真数据开发,用于分析与教学场景;真实数据请先核对 Bin 定义与坐标系原点,商用授权请联系作者。

下载入口

解压后先跑内置演示数据确认环境正常,再导入真实数据。遇到字段口径不一致时,优先改源码里的字段映射表,不要在 Excel 里硬凑。

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